[发明专利]一种蚀刻后的表面防氧化处理装置有效

专利信息
申请号: 201911353419.4 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN111162026B 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 沈方晨 申请(专利权)人: 绍兴华立电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 绍兴越牛专利代理事务所(普通合伙) 33394 代理人: 王剑
地址: 312000 浙江省绍兴市袍*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 蚀刻 表面 氧化 处理 装置
【权利要求书】:

1.一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,包括液压仓A(1),其特征在于:所述液压仓A(1)包括液压仓A内壁(101),所述液压仓A内壁(101)与活塞C(102)为密封活塞连接,所述活塞C(102)的顶端与活塞传动杆A(304)的底端固定连接,所述活塞传动杆A(304)的顶端与活塞A(302)的底端固定连接,所述活塞A(302)与液压仓C(3)为密封活塞连接,所述液压仓C(3)包括液压仓C内壁(301),所述液压仓C内壁(301)的底部与液压仓A内壁(101)和液压仓B内壁(201)的顶部固定连接,所述液压仓C(3)的内部设置有活塞挡板(306),所述活塞挡板(306)的右侧密封活塞连接活塞B(303),所述活塞B(303)的底端与活塞传动杆B(305)固定连接,所述活塞传动杆B(305)的底端与活塞D(202)的顶端固定连接,所述活塞D(202)与液压仓B(2)为密封活塞连接,所述液压仓A(1)的右侧设置有液压仓B(2),所述液压仓A(1)的右侧设置有液压仓D(601),所述液压仓D(601)的右侧与液压仓A内壁(101)固定连接,所述液压仓D(601)的顶部与活塞E(605)为密封活塞连接,所述活塞E(605)的顶部与液压传动杆A(616)的底部固定连接,所述液压仓D(601)的底部与活塞F(606)为密封活塞连接,所述活塞F(606)的底部与活塞传动杆C(613)为固定连接,所述活塞传动杆C(613)的顶部与活塞G(607)的底部固定连接,所述活塞G(607)的左侧设置有活塞F挡板(620),所述活塞G(607)与液压仓E(602)的底部为密封活塞连接,所述液压仓E(602)的右侧与活塞H(608)为活塞密封连接,所述活塞H(608)的底部与液压传动杆B(617)的顶部固定连接,所述液压仓E(602)的右侧设置有液压仓F(603),所述液压仓F(603)的上方与活塞I(609)为活塞密封连接,所述活塞I(609)的顶端与活塞传动杆D(614)固定连接,所述液压仓F(603)的底部与活塞M(610)为密封活塞连接,所述活塞M(610)的底部与活塞传动杆E(615)的顶部固定连接,所述活塞传动杆E(615)与活塞L(612)的底部固定连接,所述活塞L(612)与液压仓G(604)为密封活塞连接,所述液压仓G(604)的顶部与活塞K(611)为活塞密封连接,所述活塞K(611)的顶部与液压传动杆C(618)的底部为固定连接,所述活塞传动杆D(614)的底部与支架(619)的右端铰接,所述支架(619)的左端与出水口挡板(8)铰接,所述出水口挡板(8)的两端穿过出水口(4)的内壁在出水口(4)的内壁上滑动,所述出水口(4)内壁的中间部位固定安装压力泵(5),所述液压仓A(1)的底部设置有进水口(7),所述进水口(7)设置有进水口内壁(701)。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述进水口内壁(701)与液压仓A内壁(101)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述进水口内壁(701)的左侧中间部位与进水口挡板(702)铰接。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述进水口内壁(701)右侧与进水口挡板卡扣(703)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述液压仓E(602)的顶端与液压仓A内壁(101)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述液压仓F(603)的上下两端与液压仓B内壁(201)固定连接。

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