[发明专利]一种尺寸测量装置及应用于该装置的尺寸测量方法

说明书

本发明公开了一种尺寸测量装置，包括，工作台，其具有一用于置放工件的工作平面；转动部，其能够绕一垂直于工作平面的转动轴转动；驱动装置，其能够驱动转动部绕转动轴转动，并于一周的转动路径内在不同的转动角度停留；测距传感器，其滑动地设置于转动部朝向工作平面的一侧，且其滑动方向指向转动轴；控制器，其能够在转动部处于一停留位置时，控制测距传感器测量其与工件间的距离，且能够在转动部转动一周时控制测距传感器沿滑动方向滑动一预设距离。本方案提供的尺寸测量装置结构非常简单，既能够在保证尺寸测量精度的基础上简化操作，提升测量效率；也能够降低加工制造难度，节省生产成本。

技术领域

本发明属于尺寸测量技术领域，尤其涉及一种尺寸测量装置及应用于该装置的尺寸测量方法。

背景技术

在碳化硅晶体制备技术领域中，碳化硅材料的加工难度大、加工精度高。而通过晶体生长设备对碳化硅原材进行加工得到的晶棒，其表面粗糙、外形不规整，因此不能直接用于后工序的加工。通常需要对晶棒的尺寸进行初步的测量，以为后工序的加工过程提供数据参考。

尤其在对晶棒的高度进行测量时，现有技术通常采用以下两种方式：

1.手动测量，采用游标卡尺和直尺等测量工具对晶棒高度进行测量。这种方式因其花费的成本低、操作简便等特点，成为目前应用最广泛的测量方式。但是，由于晶棒其中一个底面非常不平整，检测人员采用相关测量工具进行测量时，易受人为因素干扰，如测量人员的熟练度、测量操作方法等，测量精度低、偏差大，且每次测量均需要对测量工具进行调整，工作效率低。

2.三坐标测量仪，通过三坐标测量仪对晶棒高度进行测量，虽然在一定程度上能够提升测量的精确性。但是，由于三坐标测量仪的造价较高，使得晶棒的测量成本也大幅提升，且测量效率也不高。

由此可见，现有技术有待于进一步地改进和提高。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供了一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种尺寸测量装置及应用于该装置的尺寸测量方法。

第一方面，本发明实施例提供一种尺寸测量装置，其包括：

工作台，其具有一用于置放工件的工作平面；

转动部，其能够绕一垂直于工作平面的转动轴转动；

驱动装置，其能够驱动转动部绕转动轴转动，并于一周的转动路径内在不同的转动角度停留；

测距传感器，其滑动地设置于转动部朝向工作平面的一侧，且其滑动方向指向转动轴；

控制器，其能够在转动部处于一停留位置时，控制测距传感器测量其与工件间的距离，且能够在转动部转动一周时控制测距传感器沿滑动方向滑动一预设距离。

在尺寸测量装置的一个实施例中，控制器还能够在转动部转动之前，控制测距传感器测量其与工作平面间的初始距离。

在尺寸测量装置的一个实施例中，还包括：

处理器，其能够对测距传感器测得的与工件间的距离和初始距离进行差值计算，得到工件的最大高度和最小高度。

在尺寸测量装置的一个实施例中，转动部在一周的转动路径内停留时，形成有多个停留位置，多个停留位置将转动路径等分为多个转动行程，相邻两个转动行程的距离相等。

在尺寸测量装置的一个实施例中，控制器在控制测距传感器滑动时，在滑动轨迹上形成有多个停顿点，多个停顿点将滑动轨迹等分为多个滑动行程，相邻两个滑动行程的距离相等。

在尺寸测量装置的一个实施例中，测距传感器在转动部中滑动时，其朝向转动轴滑动，或者背离转动轴滑动。

第二方面，本发明实施例还提供一种尺寸测量方法，应用于上述的装置，包括：