[发明专利]一种半导体芯片的封装方法在审
申请号: | 201911341783.9 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN111009476A | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 范瑶飞 | 申请(专利权)人: | 杭州乐守科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/68;H01L23/29;H01L23/31 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310052 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 封装 方法 | ||
1.一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1、提供一金属基板,并在金属基板的焊接区域涂覆粘合层;
S2、将待封装的半导体芯片通过粘合层粘贴在金属基板的焊接区域;
S3、将封装层覆盖在半导体芯片外,在封装层表面开设注胶孔(23),通过注胶孔(23)向封装层与半导体芯片之间的空隙中注入有色胶体,完成封装层与半导体芯片之间的固定,得到封装体;
S4、对S3得到的封装体进行加热处理,使粘合层老化,完成半导体芯片与金属基板的封装固定。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:所述粘合层为有机硅胶层、环氧胶层或聚酰亚胺胶层中的任意一种,所述有色胶体为加热固化型粘胶,所述加热固化型粘胶为高温环氧类粘胶、三聚氰胺粘胶和酚醛粘胶中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:所述封装层与金属基板相接触,所述半导体芯片位于封装层的内部,所述注胶孔(23)为回形结构。
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:所述金属基板上表面涂设有黏胶层(1),所述黏胶层(1)位于粘合层的外侧,所述封装层通过黏胶层(1)与金属基板相连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:所述金属基板上表面连接有两个对称的定位件(3),所述定位件(3)位于半导体芯片与封装层之间,所述封装层上表面开凿有两个对称的定位孔(21),所述定位孔(21)与定位件(3)相匹配。
6.根据权利要求5所述的一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:所述封装层的高度与黏胶层(1)的厚度之和等于定位件(3)的高度。
7.根据权利要求5所述的一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:所述定位件(3)包括上定位柱(31)和下定位柱(32),所述上定位柱(31)与定位孔(21)相匹配,所述上定位柱(31)的最大直径大于下定位柱(32)的直径,所述上定位柱(31)位于定位孔(21)内部分为圆柱形结构,所述上定位柱(31)位于定位孔(21)下侧的部分为圆台形结构。
8.根据权利要求5所述的一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:所述注胶孔(23)与定位孔(21)相连通,且定位孔(21)的孔径大于注胶孔(23)的壁厚。
9.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:所述封装层的内壁开凿有增容槽(22),所述增容槽(22)的截面由多个连续的半圆形结构相连而成。
10.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的封装方法,其特征在于:所述封装层由耐高温的透明导热材料制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造