[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体

说明书

本申请涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具备：基板；第一检测元件，设于所述基板的第一面，并具有第一可动部和第一固定部，所述第一可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第一固定部与所述第一可动部连结，并固定于所述基板；以及第二检测元件，设于与所述第一面为表里关系的第二面，并具有第二可动部和第二固定部，所述第二可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第二固定部与所述第二可动部连结，并固定于所述基板。

技术领域

本发明涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

专利文献1所记载的加速度传感器具备：锚固部；可动电极部，通过弹簧部而被锚固部支承为摆动自如；以及固定电极部，与可动电极部相对。在这样的结构中，若施加加速度，则可动电极部进行摆动，由此，可动电极部与固定电极部的间隙发生变化，它们之间的静电电容发生变化，因此能够基于该静电电容的变化来检测加速度。

专利文献1：国际公开第W017/104103号

然而，在专利文献1所记载的加速度传感器中，由于是多个传感器元件形成于一个基板的单面的结构，因此XY平面的接地面积与传感器元件的个数、面积成比例地增大。也就是说，在专利文献1所记载的加速度传感器中，难以实现装置的小型化。

发明内容

本申请的惯性传感器其特征在于，具备：基板；第一检测元件，设于所述基板的第一面，并具有第一可动部和第一固定部，所述第一可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第一固定部与所述第一可动部连结，并固定于所述基板；以及第二检测元件，设于与所述第一面为表里关系的第二面，并具有第二可动部和第二固定部，所述第二可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第二固定部与所述第二可动部连结，并固定于所述基板。

优选地，上述惯性传感器还具备：第一盖体，在所述第一盖体与所述第一面之间构成有第一空间；以及第二盖体，在所述第二盖体与所述第二面之间构成有第二空间，所述第一检测元件收容于所述第一空间，所述第二检测元件收容于所述第二空间，在所述第一盖体上设有用密封材料密封的第一孔，在所述基板上设有连通所述第一空间与所述第二空间的第二孔。

优选地，上述惯性传感器还具备：多个第一端子，设于所述第一面的所述第一空间的外侧；多个第二端子，设于所述第二面且设置于所述第二空间；以及贯通电极，设于所述基板，并电连接所述多个第一端子中任一第一端子与所述多个第二端子中任一第二端子，所述多个第一端子中任意个第一端子与所述第一检测元件电连接，所述多个第二端子中任意个第二端子与所述第二检测元件电连接。

在上述惯性传感器中，优选地，在所述多个第一端子中的一个第一端子与不同于所述一个第一端子的其它第一端子之间设有所述第一盖体。

优选地，上述惯性传感器还具备第三检测元件，所述第三检测元件设于所述第一面，并具有第三可动部和第三固定部，所述第三可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第三固定部与所述第三可动部连结，并固定于所述基板，当俯视观察所述基板时，在所述基板为矩形的情况下，所述第一检测元件与所述第三检测元件设置在相对于与所述第一面平行且通过所述基板的对角线的交点的线成线对称的位置。

优选地，上述惯性传感器还具备第三检测元件，所述第三检测元件设于所述第一面，并具有第三可动部和第三固定部，所述第三可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第三固定部与所述第三可动部连结，并固定于所述基板，当俯视观察所述基板时，在所述基板为矩形的情况下，所述第一检测元件与所述第三检测元件设置在相对于所述基板的对角线的交点成点对称的位置。

在上述惯性传感器中，优选地，当俯视观察所述基板时，在所述基板为矩形的情况下，所述第二孔设于与所述基板的对角线的交点重叠的位置。

在上述惯性传感器中，优选地，在俯视观察所述基板时，所述第二孔设于不与所述第一检测元件重叠的位置。