[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种惯性传感器，其特征在于，具备：

基板；

第一检测元件，设于所述基板的第一面，并具有第一可动部和第一固定部，所述第一可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第一固定部与所述第一可动部连结，并固定于所述基板；

第二检测元件，设于与所述第一面为表里关系的第二面，并具有第二可动部和第二固定部，所述第二可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第二固定部与所述第二可动部连结，并固定于所述基板；

第一盖体，在所述第一盖体与所述第一面之间构成有第一空间；以及

第二盖体，在所述第二盖体与所述第二面之间构成有第二空间，

所述第一检测元件收容于所述第一空间，

所述第二检测元件收容于所述第二空间，

在所述第一盖体上设有用密封材料密封的第一孔，

在所述基板上设有连通所述第一空间与所述第二空间的第二孔。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述惯性传感器还具备：

多个第一端子，设于所述第一面的所述第一空间的外侧；

多个第二端子，设于所述第二面且设置于所述第二空间；以及

贯通电极，设于所述基板，并电连接所述多个第一端子中任一第一端子与所述多个第二端子中任一第二端子，

所述多个第一端子中任意个第一端子与所述第一检测元件电连接，

所述多个第二端子中任意个第二端子与所述第二检测元件电连接。

3.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，

在所述多个第一端子中的一个第一端子与不同于所述一个第一端子的其它第一端子之间设有所述第一盖体。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的惯性传感器，其特征在于，

所述惯性传感器还具备第三检测元件，所述第三检测元件设于所述第一面，并具有第三可动部和第三固定部，所述第三可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第三固定部与所述第三可动部连结，并固定于所述基板，

当俯视观察所述基板时，在所述基板为矩形的情况下，所述第一检测元件与所述第三检测元件设置在相对于与所述第一面平行且通过所述基板的对角线的交点的线成线对称的位置。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的惯性传感器，其特征在于，

所述惯性传感器还具备第三检测元件，所述第三检测元件设于所述第一面，并具有第三可动部和第三固定部，所述第三可动部能够相对于所述基板进行位移，所述第三固定部与所述第三可动部连结，并固定于所述基板，

当俯视观察所述基板时，在所述基板为矩形的情况下，所述第一检测元件与所述第三检测元件设置在相对于所述基板的对角线的交点成点对称的位置。

6.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

当俯视观察所述基板时，在所述基板为矩形的情况下，所述第二孔设于与所述基板的对角线的交点重叠的位置。

7.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

在俯视观察所述基板时，所述第二孔设于不与所述第一检测元件重叠的位置。

8.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

在俯视观察所述基板时，所述第一固定部与所述第二固定部设于不重叠的位置。

9.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1至8中任一项所述的惯性传感器；以及

对来自所述惯性传感器的输出进行处理的处理部。

10.一种移动体，其特征在于，具备：

权利要求1至8中任一项所述的惯性传感器；以及

对来自所述惯性传感器的输出进行处理的处理部。