[发明专利]封装结构和其制造方法在审
申请号: | 201911338000.1 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN112530882A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 李佑茗;李江浩;郭宏瑞;何明哲 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L25/18;H01L21/56;H01L23/488;H01L23/485;H01L21/60 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 薛恒;王琳 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 制造 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种封装结构,包括:
半导体管芯;以及
重布线电路结构,设置在所述半导体管芯上且电连接到所述半导体管芯,且包括:
金属化层,具有多个导电图案,其中所述多个导电图案中的每一个包括多个晶粒,所述多个晶粒中的每一个呈柱状形状且包括多个第一带状结构,所述多个第一带状结构具有在(220)晶格平面上定向的多个铜原子;以及
介电层,设置在所述金属化层上。
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