[发明专利]一种酸性蚀刻废液的处理方法

说明书

本发明公开了一种酸性蚀刻废液的处理方法，包括以下步骤：电解酸性蚀刻废液，使酸性蚀刻废液内的铜离子沉积，并得到电清液；对电清液进行减压浓缩，得到含盐酸的蒸馏出水和浓缩液；使浓缩液冷却结晶，固液分离得到氯化物固体和酸性溶液；与现有技术相比，本发明的酸性蚀刻废液的处理方法，电解酸性蚀刻废液后，可以回收铜并得到电清液，使酸性蚀刻废液中的铜得到回收；电清液减压浓缩得到含盐酸的蒸馏出水和浓缩液，可以回收盐酸；浓缩液冷却结晶得到氯化物固体和酸性溶液，氯化物固体可以作配置酸性蚀刻液用，酸性溶液可以代替工业盐酸回用至H₂O₂/HCl系列和NaClO₃/HCl系列的酸性蚀刻液中，工艺流程较短，且能极大的减少蚀刻废液的增量，有利于环境保护。

技术领域

本发明涉及电解技术领域，具体地，涉及一种酸性蚀刻废液的处理方法。

背景技术

酸性蚀刻是指利用蚀刻液将工件上的线路防护层以外裸露铜溶解蚀除，蚀刻过程中，当蚀刻液中一价铜离子的浓度达到饱和时蚀刻液失去蚀刻能力，形成蚀刻废液，蚀刻废液除含有大量的铜离子外，其余成分与蚀刻液相似；所以通常处理蚀刻废液的方法是电解沉积铜；电解沉积铜后的电清液里面含有盐酸，废盐酸的处理一般采取的工艺流程为：(1)生石灰中和处理，反应方程式为：2HCl+CaO＝CaCl2+H2O；(2)使用可溶性磷酸盐沉淀液体中的金属钙等离子，其化学反应方程式为：2PO₄^3-+3Ca²⁺＝Ca₃(PO4)₂；(3)采用亚铜渣脱出液体中的氯离子，其反应方程式为：Cu⁺+Cl^-＝CuCl。但是目前以上流程存在以下缺点：(1)工艺流程太长，使用辅料较多，操作较为复杂，成本较高；(2)产生的固体渣较多，处理较为困难，且对安全环保不利；(3)废酸中的HCl没有回收利用，造成资源浪费。

发明内容

本发明的目的在于解决现有技术存在的问题，提供一种酸性蚀刻废液的处理方法。

一种酸性蚀刻废液的处理方法，包括以下步骤：

电解酸性蚀刻废液，使酸性蚀刻废液内的铜离子沉积，并得到电清液；

对电清液进行减压浓缩，得到含盐酸的蒸馏出水和浓缩液；

使浓缩液冷却结晶，固液分离得到氯化物固体和酸性溶液。

根据本发明的一实施方式，电解酸性蚀刻废液的步骤包括：

通直流电对酸性蚀刻废液进行电解；

阳极发生反应：2Cl^--2e-＝Cl2；

阴极发生反应：Cu²⁺+e-＝Cu⁺，Cu⁺+e-＝Cu。

根据本发明的一实施方式，电解酸性蚀刻废液后得到的电清液内铜离子的含量小于20g/L，HCl的酸度为1-3N。

根据本发明的一实施方式，对电清液进行减压浓缩的步骤包括：

对电清液进行第一次浓缩，并收集蒸馏出水，得到第一蒸馏出水；

对电清液进行第二次浓缩，得到浓缩液，并再次收集蒸馏出水，得到第二蒸馏出水。

根据本发明的一实施方式，浓缩电清液的真空度大于等于0.06mPa，温度为50-90℃。

根据本发明的一实施方式，对电清液进行第一次浓缩的步骤中，浓缩后，电清液的体积变为原电清液的体积的1/2。

根据本发明的一实施方式，对电清液进行第二次浓缩的步骤中，浓缩后，浓缩液的体积为原电清液体积的1/5-2/5。