[发明专利]一种酸性蚀刻废液的处理方法在审
申请号: | 201911337527.2 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN111020633A | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 夏敏;黄坚渤 | 申请(专利权)人: | 广东臻鼎环境科技有限公司 |
主分类号: | C25C1/12 | 分类号: | C25C1/12;C23F1/46 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 李有财 |
地址: | 516000 广东省惠州市东江高新区东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 酸性 蚀刻 废液 处理 方法 | ||
1.一种酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,包括以下步骤:
电解酸性蚀刻废液,使酸性蚀刻废液内的铜离子沉积,并得到电清液;
对所述电清液进行减压浓缩,得到含盐酸的蒸馏出水和浓缩液;
使所述浓缩液冷却结晶,固液分离得到氯化物固体和酸性溶液。
2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,电解酸性蚀刻废液的步骤包括:
通直流电对所述酸性蚀刻废液进行电解;
阳极发生反应:2Cl--2e-=Cl2;
阴极发生反应:Cu2++e-=Cu+,Cu++e-=Cu。
3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,电解酸性蚀刻废液后得到的所述电清液内铜离子的含量小于20g/L,HCl的酸度为1-3N。
4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,对所述电清液进行减压浓缩的步骤包括:
对所述电清液进行第一次浓缩,并收集蒸馏出水,得到第一蒸馏出水;
对所述电清液进行第二次浓缩,得到浓缩液,并再次收集蒸馏出水,得到第二蒸馏出水。
5.根据权利要求4所述的酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,浓缩所述电清液的真空度大于等于0.06mPa,温度为50-90℃。
6.根据权利要求4所述的酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,对所述电清液进行第一次浓缩的步骤中,浓缩后,所述电清液的体积变为原电清液的体积的1/2。
7.根据权利要求4所述的酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,对所述电清液进行第二次浓缩的步骤中,浓缩后,所述浓缩液的体积为原电清液体积的1/5-2/5。
8.根据权利要求4所述的酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,所述第一蒸馏出水中盐酸为0-0.2N。
9.根据权利要求4所述的酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,所述第二蒸馏出水中HCl为1-3N。
10.根据权利要求4所述的酸性蚀刻废液的处理方法,其特征在于,对所述电清液进行减压浓缩的步骤还包括:
对所述第一蒸馏出水中和处理;
对所述第二蒸馏出水进一步浓缩。
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