[发明专利]芯片封装结构的形成方法在审
申请号: | 201911336282.1 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN111354690A | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 黄冠育;黄松辉;侯上勇 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56;H01L23/488 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 傅磊;黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 封装 结构 形成 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种芯片封装结构的形成方法,包括:
将一芯片接合至一第一基底的一第一表面;
于该第一基底的一第二表面之上形成一凸块与一虚设凸块,其中该虚设凸块靠近该第一基底的一第一角落,且该虚设凸块比该凸块宽;
经由该凸块将该第一基底接合至一第二基底,其中该虚设凸块与该芯片以及该第二基底电气绝缘;以及
在该第一基底与该第二基底之间形成一保护层,其中该保护层围绕该虚设凸块与该凸块,且该保护层部分地位于该虚设凸块与该第二基底之间。
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