[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件

说明书

本发明降低了构成被用于液体喷射头中的压电元件的压电体层发生破损的可能性。本发明的液体喷射头具备：振动板，其构成被填充有液体的压力室的壁面的一部分；压电元件，其使所述振动板振动，其中，所述压电元件包括：第一电极以及第二电极；压电体层，其包含位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一部分、和在俯视观察时与所述第一电极以及所述第二电极中的至少一方不重叠的第二部分，所述第一部分中的与所述振动板相反一侧的第一面、和所述第二部分中的与所述振动板相反一侧的第二面，在所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极的层叠的方向上的位置不同，所述第二部分的第二膜厚大于所述第一部分的第一膜厚。

技术领域

本发明涉及一种液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。

背景技术

一直以来，提出有一种利用压电元件而从喷嘴喷射压力室内的液体的技术。例如，如专利文献1所公开的那样，压电元件通过第一电极、压电体层和第二电极的层叠而被构成。

压电元件包含位于第一电极与第二电极之间的第一部分、和与第一电极不重叠的第二部分。第一部分根据第一电极与第二电极之间的电压而进行变形，相对于此，第二部分不发生变形。因此，应力集中在第一部分和第二部分的边界的附近处，从而该部分有可能会因长期使用而发生破损。

专利文献1：日本特开2016-76525号公报

发明内容

为了解决以上的课题，本发明的优选方式所涉及的液体喷射头具备：振动板，其构成被填充有液体的压力室的壁面的一部分；压电元件，其使所述振动板振动，在所述液体喷射头中，所述压电元件包含：第一电极以及第二电极；压电体层，其包含位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一部分、和在俯视观察时与所述第一电极以及所述第二电极中的至少一方不重叠的第二部分，所述第一部分中的与所述振动板相反一侧的第一面、和所述第二部分中的与所述振动板相反一侧的第二面，在所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极的层叠的方向上的位置不同，所述第二部分的第二膜厚大于所述第一部分的第一膜厚。

此外，本发明的优选方式所涉及的压电器件具备：振动板；压电元件，其使所述振动板振动，在所述压电器件中，所述压电元件包括：第一电极以及第二电极；压电体层，其包含位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一部分、和在俯视观察时与所述第一电极以及所述第二电极中的至少一方不重叠的第二部分，所述第一部分中的与所述振动板相反一侧的第一面、和所述第二部分中的与所述振动板相反一侧的第二面，在所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极的层叠的方向上的位置不同，所述第二部分的第二膜厚大于所述第一部分的第一膜厚。

附图说明

图1为对第一实施方式所涉及的液体喷射装置的结构进行例示的模式图。

图2为液体喷射头的分解立体图。

图3为图2中的a-a线的剖视图。

图4为放大了压电元件的俯视图。

图5为图4中的b-b线的剖视图。

图6为图4中的c-c线的剖视图。

图7为放大了图6中的范围α的剖视图。

图8为第二实施方式中的压电元件的剖视图。

图9为放大了图8中的范围α的剖视图。

图10为放大了第三实施方式中的压电元件的剖视图。

具体实施方式

第一实施方式