[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件

权利要求书

1.一种液体喷射头，具备：

振动板，其构成被填充有液体的压力室的壁面的一部分；

压电元件，其使所述振动板振动，

在所述液体喷射头中，

所述压电元件包括：第一电极、第二电极以及压电体层，

所述第一电极层、所述压电体层和所述第二电极层的层叠的方向为Z方向，

多个所述压力室被排列的方向为Y方向，

与所述Z方向以及所述Y方向双方均正交的方向为X方向，

所述压电体层包含在从所述X方向观察时位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一部分、和在俯视观察时与所述第一电极以及所述第二电极中的至少一方不重叠的第二部分，

所述第一部分中的与所述振动板相反一侧的第一面、和所述第二部分中的与所述振动板相反一侧的第二面，在所述Z方向上的位置不同，

所述第二部分的第二膜厚大于所述第一部分的第一膜厚，并且，所述第二膜厚小于所述第一膜厚与所述第一电极的膜厚的总和。

2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

在俯视观察时，所述第一面全部与所述第一电极重叠。

3.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，

在所述振动板上被形成有所述压电元件的表面包括第三面和相对于所述第三面而凹陷的第四面，

所述第一电极以及所述第一部分被形成在所述第三面的面上，

所述第二部分被形成在所述第四面的面上。

4.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

所述第二电极的膜厚大于所述第一电极的膜厚。

5.一种液体喷射装置，具备：

权利要求1至权利要求4中任一项所述的液体喷射头；

控制部，其对所述液体喷射头进行控制。

6.一种压电器件，具备：

振动板；

压电元件，其使所述振动板振动，

在所述压电器件中，

所述压电元件包括：第一电极、第二电极以及压电体层，

所述第一电极层、所述压电体层和所述第二电极层的层叠的方向为Z方向，

多个压力室被排列的方向为Y方向，

与所述Z方向以及所述Y方向双方均正交的方向为X方向，所述压电体层包含在从所述X方向观察时位于所述第一电极和所述第二电极之间的第一部分、和在俯视观察时与所述第一电极以及所述第二电极中的至少一方不重叠的第二部分，

所述第一部分中的与所述振动板相反一侧的第一面、和所述第二部分中的与所述振动板相反一侧的第二面，在所述Z方向上的位置不同，

所述第二部分的第二膜厚大于所述第一部分的第一膜厚，并且，所述第二膜厚小于所述第一膜厚与所述第一电极的膜厚的总和。

7.如权利要求6所述的压电器件，其中，

在俯视观察时，所述第一面全部与所述第一电极重叠。

8.如权利要求6或7所述的压电器件，其中，

在所述振动板上被形成有所述压电元件的表面包括第三面和相对于所述第三面而凹陷的第四面，

所述第一电极以及所述第一部分被形成在所述第三面的面上，

所述第二部分被形成在所述第四面的面上。

9.如权利要求6所述的压电器件，其中，

所述第二电极的膜厚大于所述第一电极的膜厚。