[发明专利]一种真空微波振荡源栅网加工方法

说明书

本发明提供一种真空微波振荡源栅网加工方法，包括步骤1、准备栅丝片毛坯、基板毛坯、隔片；步骤2、按照栅网规格对栅丝片毛坯、基板毛坯进行结构加工；步骤3、将加工完成后的栅丝片、基板和隔片组装起来；步骤4、对上一步骤得到的栅网进行机械加工；步骤5、栅网蚀刻；步骤6、后续处理工艺。本发明提供的制作方法解决了特别形状的栅网加工问题，且不受栅网栅丝尺寸的限制，大小栅网栅丝均能加工，栅丝宽度可以到微米级；本制作方法一次可加工多个栅网，提高了加工效率，节约时间以及成本；用本发明提供的制作方法生产出来的特别的L形栅丝形状，可以减小振荡源中高次模，防止高频场从谐振腔辐射到阴极区，振荡源易启振，频谱纯度高。

技术领域

本发明主要涉及微波电子技术领域，特别涉及一种真空微波振荡源栅网加工方法。

背景技术

在微波领域中，微波振荡源作为微波信号发生器，广泛用于雷达、电子对抗、通讯等领域。微波振荡源一般有真空三极管、反射速调管、固态器件等。

微波振荡源由阴极、栅极、反射极构成，其中栅极起到调节电子发射的作用。栅极通常有轮辐栅、蜂窝栅、网格栅等形状，本栅网由于设计上的限制，只能是如图1所示的形状。受制于栅网形状，常规栅极加工方法，如激光切割、曝光腐蚀、电火花加工等均难以胜任，所以需要一种加工方法，用来解决L形的栅网加工问题。

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明提供一种真空微波振荡源栅网加工方法，经由此方法制作出来的L形栅网可以减小振荡源中高次模，防止高频场从谐振腔辐射到阴极区，振荡源易启振，频谱纯度高。

技术方案

本发明解决上述技术问题采用的技术方案为：一种真空微波振荡源栅网加工方法，包括以下步骤：

步骤1、准备栅丝片毛坯、基板毛坯、隔片；

步骤2、按照栅网规格对栅丝片毛坯、基板毛坯进行结构加工；

步骤3、将加工完成后的栅丝片、基板和隔片组装起来；

步骤4、对上一步骤得到的栅网进行机械加工；

步骤5、栅网蚀刻；

步骤6、后续处理工艺。

进一步的，所述步骤2的具体操作方法如下：

步骤2.1、定栅网规格，a为栅丝宽度，b为栅丝间隔，c栅丝厚度，d为栅网外径，e栅网内径；

步骤2.2、栅丝片毛坯的宽度用f表示，将栅丝片毛坯对中弯折90°成L形，弯折后的栅丝片宽度即为a；

步骤2.3、加工基板毛坯，其直径用h表示，且h要大于栅网直径d。

进一步的，所述步骤3的具体操作方法如下：将所述步骤2得到的栅丝片之间通过隔片隔开，通过工装将栅丝片、基板、隔片钎焊在一起，其中隔片的宽度即为栅丝的间隔b。

进一步的，所述步骤4的具体操作方法如下：将焊接的栅网进行机械加工成圆柱体，圆柱体的外径为栅网要求的直径d，高度为f。

进一步的，所述步骤5的具体操作方法如下：

步骤5.1、将步骤4得到的栅网圆柱体沿垂直轴线方向进行线切割，切割成多个栅网毛坯，切割毛坯的厚度为栅网要求的厚度c，其中尺寸f远大于尺寸c；

步骤5.2、将栅网毛坯外围直径d和直径e之间涂覆保护膜，放入可刻蚀铜的溶液中。

进一步的，所述步骤6的具体操作方法如下：将步骤5得到的栅网进行去膜、清洗、退火、检测工艺，得到符合要求的栅网。

有益效果