[发明专利]一种真空微波振荡源栅网加工方法

权利要求书

1.一种真空微波振荡源栅网加工方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1、准备栅丝片毛坯、基板毛坯、隔片；

步骤2、按照栅网规格对栅丝片毛坯、基板毛坯进行结构加工，其中栅丝片毛坯对中弯折90°成L形；

步骤3、将加工完成后的栅丝片、基板和隔片组装起来；具体为将所述步骤2得到的栅丝片之间通过隔片隔开，通过工装将栅丝片、基板、隔片钎焊在一起；

步骤4、对上一步骤得到的栅网进行机械加工，将焊接的栅网进行机械加工成圆柱体；

步骤5、栅网蚀刻，其中：

步骤5.1、将步骤4得到的栅网圆柱体沿垂直轴线方向进行线切割，切割成多个栅网毛坯；

步骤5.2、将栅网毛坯的外径和内径之间涂覆保护膜，放入可刻蚀铜的溶液中；

步骤6、后续处理工艺。

2.根据权利要求1所述的一种真空微波振荡源栅网加工方法，其特征在于：所述步骤2的具体操作方法如下：

步骤2.1、定栅网规格，分别是：栅丝宽度a、栅丝间隔b、栅丝厚度c、栅网外径d、栅网内径e；

步骤2.2、栅丝片毛坯的宽度用f表示，将栅丝片毛坯对中弯折90°成L形，弯折后的栅丝片宽度即为栅丝宽度a；

步骤2.3、加工基板毛坯，其直径用h表示，且h要大于栅网外径d。

3.根据权利要求2所述的一种真空微波振荡源栅网加工方法，其特征在于：所述步骤3中，所述隔片的宽度即为栅丝间隔b。

4.根据权利要求3所述的一种真空微波振荡源栅网加工方法，其特征在于：在所述步骤4中，所述圆柱体的外径即为栅网直径d，高度为f。

5.根据权利要求4所述的一种真空微波振荡源栅网加工方法，其特征在于：在所述步骤5.1中，切割后的栅网毛坯厚度为栅网厚度c，其中尺寸f远大于尺寸c。

6.根据权利要求1所述的一种真空微波振荡源栅网加工方法，其特征在于：所述步骤6的具体操作方法如下：将步骤5得到的栅网进行去膜、清洗、退火、检测工艺，得到符合要求的栅网。