[发明专利]一种包括二自由度执行机构的自由度多方位微动台

说明书

本发明公开了一种包括二自由度执行机构的自由度多方位微动台，包括底座、液压杆和微动台面，所述底座的内部从外到内依次开设有导向腔和定位腔，所述第一音圈电机定子的内部活动安装有第一音圈电机输出轴，且第一音圈电机定子的内壁上固定安装有第一环形气浮垫，所述定位杆的下端活动安装于导向腔的内部，所述导杆之间固定有第二音圈电机定子，且第二音圈电机定子的中部固定连接有第二音圈电机输出轴的一端，所述底座设置于微动台面的顶部。该包括二自由度执行机构的自由度多方位微动台，减少自由度使用调节时的摩擦导致动能消耗，提高定位精度和使用减震效果，并且方便微动台的使用多方位定位安装。

技术领域

本发明涉及直线电机技术领域，具体为一种包括二自由度执行机构的自由度多方位微动台。

背景技术

在定位精度使用要求高的工业机器人、数控机床以及半导体制造领域的场合，为了提高定位的使用精度和自由度的稳定调节改变，通过电机的执行机构进行电机的使用定位安装，方便自由度的应用调整，并在微动台的作用下，进行多工位的小行程微调和定位，使得半导体的制造和光学图像对准更加快捷与稳定。

然而现有的电机自由度执行机构及微动台在使用时存在以下问题：

1、在进行自由度执行机构调节改变时，自由度的调节过程中，动力能在传动时因摩擦力作用，外力消耗大，造成动能的使用浪费，且摩擦力的大幅度存在，使得自由度的调节和定位精度不够，影响定位使用，同时自由度的调节定位减震性不强，存在使用缺陷；

2、微动台的安装使用，不方便对电机自由度执行机构进行安装定位，在使用时自由度的方位调节改变不易，不易进行多方位的使用调节和数量改变，存在使用局限性较大的问题。

针对上述问题，急需在原有电机自由度执行机构及微动台的基础上进行创新设计。

发明内容

本发明的目的在于提供一种包括二自由度执行机构的自由度多方位微动台，以解决上述背景技术提出现有的电机自由度执行机构及微动台在进行自由度执行机构调节改变时，自由度的调节过程中，动力能在传动时因摩擦力作用，外力消耗大，造成动能的使用浪费，且摩擦力的大幅度存在，使得自由度的调节和定位精度不够，影响定位使用，同时自由度的调节定位减震性不强，存在使用缺陷，微动台的安装使用，不方便对电机自由度执行机构进行安装定位，在使用时自由度的方位调节改变不易，不易进行多方位的使用调节和数量改变，存在使用局限性较大的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种包括二自由度执行机构的自由度多方位微动台，包括底座、液压杆和微动台面，所述底座的内部从外到内依次开设有导向腔和定位腔，且底座的底部固定安装有齿轮座，并且定位腔的内部固定有第一音圈电机定子，所述第一音圈电机定子的内部活动安装有第一音圈电机输出轴，且第一音圈电机定子的内壁上固定安装有第一环形气浮垫，并且第一音圈电机输出轴的端部螺栓连接有液压杆，所述底座的顶部卡合安装有橡胶盖，且橡胶盖的上方边缘处设置有定位件，并且定位件的底部固定连接有定位杆，所述定位杆的下端活动安装于导向腔的内部，且定位杆的端部外壁和导向腔的内壁上均固定有第二环形气浮垫，所述定位件的内部活动安装有导杆，且导杆的端部和定位件的内部均固定有第一永磁体，而且定位件的端部嵌入固定有条形气浮垫，所述导杆之间固定有第二音圈电机定子，且第二音圈电机定子的中部固定连接有第二音圈电机输出轴的一端，并且第二音圈电机定子的底部中心处和液压杆的端部均固定安装有陶瓷座，所述陶瓷座的中部嵌入式安装有第二永磁体，且上下陶瓷座的边缘处之间转动连接有连接件，所述底座设置于微动台面的顶部，且微动台面的底部螺栓固定有固定杆，并且微动台面的底部活动安装有齿轮环，而且微动台面底部的齿轮环边侧转动安装有电机齿轮轴；

所述导杆设置为“L”字型结构，且导杆的外壁与定位件的内壁间留有间距，并且导杆和定位件构成滑动安装结构；

所述第一永磁体嵌入式固定于导杆和定位件上，且导杆和定位件上的第一永磁体朝向相对面的极性相异、第一永磁体之间相吸设置；