[发明专利]光学感测滤光器及其形成方法

说明书

本发明提供了一种光学感测滤光器及其形成方法。此光学感测滤光器包括具有主动区以及感测区的基板、设置在基板的感测区中的光电二极管、以及设置在光电二极管之上的滤光片结构。此滤光片结构包括设置在光电二极管之上的第一滤光片堆迭以及设置在第一滤光片堆迭之上的第二滤光片堆迭。第一滤光片堆迭包括设置在光电二极管之上的第一黏着层、设置在第一黏着层之上的第一金属层、以及设置在第一金属层之上的第一绝缘层。第二滤光片堆迭包括设置在第一绝缘层之上的第二黏着层、设置在第二黏着层之上的第二金属层、以及设置在第二金属层之上的第二绝缘层。

技术领域

本发明实施例是关于光学感测滤光器，且特别是有关于一种具有共振结构的光学感测滤光器。

背景技术

随着数字科技的发展，光学感测滤光器变得更广泛地被运用于社会。在移动装置(例如，汽车)中，为了提高安全性，常会搭载光学感测滤光器。举例来说，可以搭载环境光感测器来检测环境中可见光的亮度，以感测环境变化及交通号志灯，并提醒使用者或使汽车做出相应反应。亦可搭载近接感测器来检测物体靠近程度，当行人或其他车辆太过靠近使用者时，可以发出警示音来提醒使用者。或者，当前方车辆紧急停止时，可令汽车即时做出反应，避免使用者发生车祸，增进行车安全。

然而，虽然现有光学感测滤光器大致上合乎其预期目的，但并非在所有方面都完全令人满意，仍需进一步改良，以提升产品的良品率及可靠度。

发明内容

本发明实施例提供一种光学感测滤光器。此光学感测滤光器包括具有主动区以及感测区的基板、设置在基板的感测区中的光电二极管、以及设置在光电二极管之上的滤光片结构。此滤光片结构包括设置在该光电二极管之上的第一滤光片堆迭以及设置在第一滤光片堆迭之上的第二滤光片堆迭。第一滤光片堆迭包括设置在光电二极管之上的第一黏着层、设置在第一黏着层之上的第一金属层、以及设置在第一金属层之上的第一绝缘层。第二滤光片堆迭包括设置在该第一绝缘层之上的第二黏着层、设置在第二黏着层之上的第二金属层、以及设置在第二金属层之上的第二绝缘层。

本发明实施例亦提供一种光学感测滤光器的形成方法。此方法包括提供具有主动区及感测区的基板、在基板的感测区中形成光电二极管、以及在光电二极管之上形成滤光片结构。形成滤光片结构的步骤包括在光电二极管之上形成第一滤光片堆迭以及在第一滤光片堆迭之上形成第二滤光片堆迭。形成该第一滤光片堆迭的步骤包括在光电二极管之上形成第一黏着层、在第一黏着层之上形成第一金属层、以及在第一金属层之上形成第一绝缘层。形成第二滤光片堆迭的步骤包括在第一绝缘层之上形成第二黏着层、在第二黏着层之上形成第二金属层、以及在第二金属层之上形成第二绝缘层。

以下的实施例与所附的参考图式将提供详细的描述。

附图说明

以下将配合所附图式详述本发明的一些实施例。应注意的是，依据在业界的标准做法，各种部件并未按照比例绘制且仅用以说明例示。事实上，可能任意地放大或缩小元件的尺寸，以清楚地表现出本发明实施例的部件。

图1A-图1F是根据一些实施例，绘示出用于形成图1F的光学感测滤光器的示例方法的各个中间阶段的剖面示意图。

图2A-图2C是根据一些实施例，绘示出用于形成图2C的光学感测滤光器的示例方法的各个中间阶段的剖面示意图。

附图标记：

10、20～光学感测滤光器

100～基板

100A～主动区

100B～感测区

102～金属间介电层

200～光电二极管

202～保护层

300～滤光片结构

302A、302B～滤光片堆迭