[发明专利]一种镀膜管P设备高频自动补镀方法有效
申请号: | 201911333546.8 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN110983301B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 朱浩;吴朋朋;张基勇;万柳斌;黄秀富;方雯;蒋柱 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52;C23C16/50;H01L31/18 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 周勇 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 设备 高频 自动 方法 | ||
本发明公开了一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,包括以下步骤:设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积工艺、并记录运行过的沉积步骤和时间;高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中;系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤。本发明通过自动识别补镀工艺减少人为干涉,极大产能提升;因减少人员干涉,节省车间工艺人员人力,节约人力成本;镀膜段全程自动化识别镀膜,最大化保证膜色稳定,减少膜色异常,确保品质稳定。
技术领域
本发明涉及太阳能电池镀膜技术领域,具体为一种镀膜管P设备高频自动补镀方法。
背景技术
太阳能是一种最普遍、最清洁和最有潜力的替代能源,太阳能发电装置又称为光伏电池或太阳能电池,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应,可以将太阳能直接转换成电池。
太阳能电池制作过程,例如常规的PERC电池的生产工艺;制绒一扩散一刻蚀一镀M203一镀背面SiNx一镀正面SiNx一激光开槽或开孔一丝网印刷一烧结一测试,此工艺比起原多晶电池工艺镀膜段增加氧化铝沉积、背膜沉积,也就是需要两次镀膜。
之前在太阳能电池片制造领域PECVD工艺,针对管P机台出现高频异常,需要进行手动高频处理流程,手动高频处理流程如下:(1)高频时,系统将自动跳步结束工艺,自动上下料界面三管显示工艺舟失败;(2)查看历史记录,确定高频补镀时间,建立补镀工艺;(3)高频舟需要调整机器状态为手动模式,手动将高频舟放置到滑台车上并发送至自动化,并将自动化调整为手动模式;(4)生产员工检查完毕之后,从自动化将滑台上将高频舟送至主机台内,并从滑台拉至空管,加载补镀工艺并运行;(5)恢复自动化,机台自动运转。
对于上述手动高频处理的方法流程,可以很明显的看出存在的问题:当需要进行人工手动跳步、手动新建补镀工艺、手动预约补镀工艺时,比较浪费人力,并需要进行自动化和手动化得来回切换,容易出现因处理不及时耽误产量的情况,并且因人员能力差异极易产生补镀膜色异常情况,造成成本浪费。
发明内容
本发明的目的在于提供一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,包括以下步骤:
设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积工艺、并记录运行过的沉积步骤和时间;
高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中;
系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤。
优选的,设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积步骤、并记录运行过的沉积步骤和时间,具体包括:当设备出现高频报警信号,系统控制高频石墨舟自动跳步离开沉积工艺,并记录已经运行过的沉积步骤、以及沉积时间,随后运行完后非沉积工艺。
优选的,高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中,具体包括:待产生高频信号的石墨舟出舟后,对石墨舟进行自动化顺序阶梯式降温,随后对石墨舟内的碎片进行处理,处理完成后将此石墨舟发回主机台设备中。
优选的,系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤,具体包括:设备系统在高频石墨舟发回主机台设备后,进行自动识别,识别完成后控制设备带动高频石墨舟从开始处重新运行沉积工艺,之前运行过的沉积步骤和时间自动跳过,直到记录点的沉积工艺开始进行镀膜,并完成后续沉积工艺和非沉积工艺。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
1、通过自动识别补镀工艺减少人为干涉,极大产能提升;
2、因减少人员干涉,节省车间工艺人员人力,节约人力成本;
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的