[发明专利]一种镀膜管P设备高频自动补镀方法有效

专利信息
申请号: 201911333546.8 申请日: 2019-12-23
公开(公告)号: CN110983301B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 朱浩;吴朋朋;张基勇;万柳斌;黄秀富;方雯;蒋柱 申请(专利权)人: 通威太阳能(安徽)有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/50;H01L31/18
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 周勇
地址: 230088 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 设备 高频 自动 方法
【说明书】:

发明公开了一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,包括以下步骤:设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积工艺、并记录运行过的沉积步骤和时间;高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中;系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤。本发明通过自动识别补镀工艺减少人为干涉,极大产能提升;因减少人员干涉,节省车间工艺人员人力,节约人力成本;镀膜段全程自动化识别镀膜,最大化保证膜色稳定,减少膜色异常,确保品质稳定。

技术领域

本发明涉及太阳能电池镀膜技术领域,具体为一种镀膜管P设备高频自动补镀方法。

背景技术

太阳能是一种最普遍、最清洁和最有潜力的替代能源,太阳能发电装置又称为光伏电池或太阳能电池,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应,可以将太阳能直接转换成电池。

太阳能电池制作过程,例如常规的PERC电池的生产工艺;制绒一扩散一刻蚀一镀M203一镀背面SiNx一镀正面SiNx一激光开槽或开孔一丝网印刷一烧结一测试,此工艺比起原多晶电池工艺镀膜段增加氧化铝沉积、背膜沉积,也就是需要两次镀膜。

之前在太阳能电池片制造领域PECVD工艺,针对管P机台出现高频异常,需要进行手动高频处理流程,手动高频处理流程如下:(1)高频时,系统将自动跳步结束工艺,自动上下料界面三管显示工艺舟失败;(2)查看历史记录,确定高频补镀时间,建立补镀工艺;(3)高频舟需要调整机器状态为手动模式,手动将高频舟放置到滑台车上并发送至自动化,并将自动化调整为手动模式;(4)生产员工检查完毕之后,从自动化将滑台上将高频舟送至主机台内,并从滑台拉至空管,加载补镀工艺并运行;(5)恢复自动化,机台自动运转。

对于上述手动高频处理的方法流程,可以很明显的看出存在的问题:当需要进行人工手动跳步、手动新建补镀工艺、手动预约补镀工艺时,比较浪费人力,并需要进行自动化和手动化得来回切换,容易出现因处理不及时耽误产量的情况,并且因人员能力差异极易产生补镀膜色异常情况,造成成本浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,包括以下步骤:

设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积工艺、并记录运行过的沉积步骤和时间;

高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中;

系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤。

优选的,设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积步骤、并记录运行过的沉积步骤和时间,具体包括:当设备出现高频报警信号,系统控制高频石墨舟自动跳步离开沉积工艺,并记录已经运行过的沉积步骤、以及沉积时间,随后运行完后非沉积工艺。

优选的,高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中,具体包括:待产生高频信号的石墨舟出舟后,对石墨舟进行自动化顺序阶梯式降温,随后对石墨舟内的碎片进行处理,处理完成后将此石墨舟发回主机台设备中。

优选的,系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤,具体包括:设备系统在高频石墨舟发回主机台设备后,进行自动识别,识别完成后控制设备带动高频石墨舟从开始处重新运行沉积工艺,之前运行过的沉积步骤和时间自动跳过,直到记录点的沉积工艺开始进行镀膜,并完成后续沉积工艺和非沉积工艺。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:

1、通过自动识别补镀工艺减少人为干涉,极大产能提升;

2、因减少人员干涉,节省车间工艺人员人力,节约人力成本;

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通威太阳能(安徽)有限公司,未经通威太阳能(安徽)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911333546.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top