[发明专利]一种镀膜管P设备高频自动补镀方法有效

专利信息
申请号: 201911333546.8 申请日: 2019-12-23
公开(公告)号: CN110983301B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 朱浩;吴朋朋;张基勇;万柳斌;黄秀富;方雯;蒋柱 申请(专利权)人: 通威太阳能(安徽)有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/50;H01L31/18
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 周勇
地址: 230088 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 设备 高频 自动 方法
【权利要求书】:

1.一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,其特征在于,包括以下步骤:

设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积工艺、并记录运行过的沉积步骤和时间;

高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中;当高频石墨舟完成了后续的非沉积工艺后,石墨舟自动完成出舟操作,此时该高频石墨舟自动落入桨上,并且设备系统控制对该高频石墨舟的外框进行红色信号标记,以便后续对该高频石墨舟进行识别,随后对该高频石墨舟进行自动化顺序阶梯式降温,降温后通过自动化设备进行传输,随后对石墨舟内的碎片进行处理,剔除舟内的碎片,待处理完成后将此高频石墨舟通过自动化发回主机台设备中,并且同时向主机台设备的系统发送该高频石墨舟的高频信号,实现该高频石墨舟的重新进管,进行补镀工艺;

系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤;设备系统在高频石墨舟发回主机台设备后,进行自动识别,识别完成后控制设备带动高频石墨舟从开始处重新运行沉积工艺,之前运行过的沉积步骤和时间自动跳过,直到记录点的沉积工艺开始进行镀膜,并完成后续沉积工艺和非沉积工艺。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,其特征在于,设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积步骤、并记录运行过的沉积步骤和时间,具体包括:当设备出现高频报警信号,系统控制高频石墨舟自动跳步离开沉积工艺,并记录已经运行过的沉积步骤、以及沉积时间,随后运行完之后的非沉积工艺。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通威太阳能(安徽)有限公司,未经通威太阳能(安徽)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911333546.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top