[发明专利]一种镀膜管P设备高频自动补镀方法有效
申请号: | 201911333546.8 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN110983301B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 朱浩;吴朋朋;张基勇;万柳斌;黄秀富;方雯;蒋柱 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52;C23C16/50;H01L31/18 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 周勇 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 设备 高频 自动 方法 | ||
1.一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,其特征在于,包括以下步骤:
设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积工艺、并记录运行过的沉积步骤和时间;
高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中;当高频石墨舟完成了后续的非沉积工艺后,石墨舟自动完成出舟操作,此时该高频石墨舟自动落入桨上,并且设备系统控制对该高频石墨舟的外框进行红色信号标记,以便后续对该高频石墨舟进行识别,随后对该高频石墨舟进行自动化顺序阶梯式降温,降温后通过自动化设备进行传输,随后对石墨舟内的碎片进行处理,剔除舟内的碎片,待处理完成后将此高频石墨舟通过自动化发回主机台设备中,并且同时向主机台设备的系统发送该高频石墨舟的高频信号,实现该高频石墨舟的重新进管,进行补镀工艺;
系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤;设备系统在高频石墨舟发回主机台设备后,进行自动识别,识别完成后控制设备带动高频石墨舟从开始处重新运行沉积工艺,之前运行过的沉积步骤和时间自动跳过,直到记录点的沉积工艺开始进行镀膜,并完成后续沉积工艺和非沉积工艺。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,其特征在于,设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积步骤、并记录运行过的沉积步骤和时间,具体包括:当设备出现高频报警信号,系统控制高频石墨舟自动跳步离开沉积工艺,并记录已经运行过的沉积步骤、以及沉积时间,随后运行完之后的非沉积工艺。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的