[发明专利]输送装置、基板处理装置以及制造制品的方法

权利要求书

1.一种输送装置，包括：

第一可动设备，其包括台，所述台构造成在保持物体的同时移动；

第二可动设备，其包括手构件，所述手构件构造成在保持物体的同时移动并且将物体转移至第一可动设备；和

控制器，其构造成控制第一可动设备和第二可动设备，

其中：

第二可动设备包括引导构件，并且所述手构件布置成在保持物体的同时沿着引导构件往复运动，

控制器构造成基于手构件的驱动历史来估计引导构件的由于手构件沿着引导构件的往复运动而导致的热变形量，

控制器构造成基于所估计的热变形量来校正用于使第一可动设备移动至从第二可动设备接收物体的位置的驱动指令值，

热变形量根据手构件的驱动历史基于用于从手构件的驱动历史来获得引导构件的温度和用于从引导构件的温度来获得引导构件的热变形量的一个或多个相关方程来估计，并且

所述一个或多个相关方程包括根据驱动曲线预先确定的系数，所述驱动曲线限定手构件的速度、加速度、和急动度的控制条件。

2.根据权利要求1所述的输送装置，其中，控制器构造成：

根据手构件的驱动历史基于用于从手构件的驱动历史来获得引导构件的温度的相关方程来估计引导构件的温度，并且

根据所估计的温度基于用于从引导构件的温度来获得引导构件的热变形量的相关方程来估计所述热变形量。

3.根据权利要求1所述的输送装置，其中，所述相关方程包括：

第一关系方程，其指示手构件的停止时间与引导构件的温度下降之间的关系，和

第二关系方程，其指示手构件的驱动时间与引导构件的温度升高之间的关系。

4.根据权利要求3所述的输送装置，其中，第一关系方程中的系数包括手构件停止时引导构件的收敛温度、和引导构件的温度下降的时间常数，第二关系方程中的系数包括连续驱动手构件时引导构件的收敛温度、和引导构件的温度升高的时间常数。

5.根据权利要求1所述的输送装置，其中，所述系数根据驱动曲线和手构件的累积驱动计数来确定。

6.根据权利要求2所述的输送装置，其中，控制器构造成获得第二可动设备的驱动电流的积分值，并且根据所述积分值来估计引导构件的温度，所述第二可动设备的驱动电流的积分值作为手构件的驱动历史。

7.一种输送装置，包括：

第一可动设备，其包括台，所述台构造成在保持物体的同时移动；

第二可动设备，其包括手构件，所述手构件构造成在保持物体的同时移动并且将物体转移至第一可动设备；和

控制器，其构造成控制第一可动设备和第二可动设备，

其中：

第二可动设备包括引导构件，并且所述手构件布置成在保持物体的同时沿着引导构件往复运动，

控制器构造成基于手构件的驱动历史来估计引导构件的由于手构件沿着引导构件的往复运动而导致的热变形量，

控制器构造成基于所估计的热变形量来校正用于使手构件移动至将物体转移至第一可动设备的位置的驱动指令值，

热变形量根据手构件的驱动历史基于用于从手构件的驱动历史来获得引导构件的温度和用于从引导构件的温度来获得引导构件的热变形量的一个或多个相关方程来估计，并且

所述一个或多个相关方程包括根据驱动曲线预先确定的系数，所述驱动曲线限定手构件的速度、加速度、和急动度的控制条件。

8.一种基板处理装置，其在基板上形成图案，所述基板处理装置包括：

在权利要求1中限定的输送装置，

其中，物体是基板，并且

所述台是构造成保持基板的基板台。

9.一种基板处理装置，其使用原稿以在基板上形成图案，所述基板处理装置包括：

在权利要求1中限定的输送装置，

其中，物体是原稿，并且

所述台是构造成保持原稿的原稿台。