[发明专利]虚拟量测方法、装置及计算机可读存储介质

说明书

一种虚拟量测方法，包括：获取至少一台生产设备的生产数据；利用所述生产数据，通过一预测模型同时推算已量测产品的预测数据和未量测产品的预测数据，所述预测数据包括产品的尺寸数据。该方法能够实现工业生产中的虚拟量测，节省检测成本。本发明同时提出一种虚拟量测装置及计算机可读存储介质。

技术领域

本发明涉及测量领域，具体涉及一种虚拟量测方法、装置及计算机可读存储介质。

背景技术

在半导体或面板的生产制程中，需要实时量测加工后产品的膜厚或线宽等尺寸数据，以确保制程正确。早期通常采用抽检的方式进行量测，但制程逐年复杂、精度也急剧增加，不得不增加抽检频率以达到效果。但是，量测机台的造价昂贵，且自动化建置需要空间和庞大的经费支出，因此，现有的量测方式成本较高。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提出一种虚拟量测方法、装置及计算机可读存储介质，以解决上述问题。

本发明的第一方面提供一种虚拟量测方法，包括：获取至少一台生产装置的生产数据；利用所述生产数据，通过一预测模型推算已量测产品和未量测产品的预测数据，所述预测数据包括产品的尺寸数据。

进一步地，在推算所述预测数据后，所述方法还包括：获取对未量测产品进行抽检的量测数据；判断所述量测数据与所述预测数据之间的差值是否在预设范围内；当所述差值不在预设范围内时，利用所述生产数据和所述量测数据更新所述预测模型。

进一步地，更新所述预测模型的步骤具体为：生成一用户界面以显示所述量测数据与所述预测数据之间的差值和所述预设范围；接收更新预测模型的指令；利用所述生产数据和所述量测数据重建或调整所述预测模型。

进一步地，在推算所述预测数据后，所述方法还包括：判断是否预测成功；若未预测成功，则发出报警信息；若预测成功，则生成一用户界面以显示所述预测数据。

进一步地，所述方法还包括：获取所述生产数据和已量测产品的量测数据；利用所述生产数据和所述量测数据建立所述预测模型，所述预测模型为机器学习模型。

进一步地，获取所述生产数据和已量测产品的量测数据的步骤具体为：接收至少一所述生产装置发出的所述生产数据和至少一量测装置发出的所述量测数据；对所述生产数据和所述量测数据进行抽取、转换和加载；将所述生产数据和所述量测数据存储于一分析资料库中。

进一步地，所述方法还包括：每隔预定时间，对比多个所述量测装置对同一产品的量测数据，以校正所述量测数据。

进一步地，所述尺寸数据包括产品的膜厚和线宽。

本发明的第二方面提供一种虚拟量测装置，所述装置包括处理器及存储器，所述存储器上存储有若干计算机程序，所述处理器用于执行存储器中存储的计算机程序时实现上述虚拟量测方法的步骤。

本发明的第三方面提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有多条指令，多条所述指令可被一个或者多个处理器执行，以实现上述虚拟量测方法的步骤。

上述虚拟量测方法、装置及计算机可读存储介质，能够通过一预测模型推算已量测产品和未量测产品的预测数据，从而能够实现工业生产中的虚拟量测，降低抽检的频率，节省检测成本，提升了虚拟量测的准确性和可靠性。

附图说明

图1是本发明一个实施例的虚拟量测装置的应用环境示意图。

图2是本发明一个实施例的虚拟量测装置的架构示意图。

图3是本发明一个实施例的虚拟量测设定程序的功能模块图。

图4是本发明一个实施例的虚拟量测方法的流程图。

主要元件符号说明