[发明专利]虚拟量测方法、装置及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种虚拟量测方法，包括：

获取至少一台生产装置的生产数据；

利用所述生产数据，通过一预测模型同时推算已量测产品的预测数据和未量测产品的预测数据，所述预测数据包括产品的尺寸数据。

2.如权利要求1所述的虚拟量测方法，其特征在于，在推算所述预测数据后，所述方法还包括：

获取对未量测产品进行抽检的量测数据；

判断所述量测数据与所述预测数据之间的差值是否在预设范围内；

当所述差值不在预设范围内时，利用所述生产数据和所述量测数据更新所述预测模型。

3.如权利要求2所述的虚拟量测方法，其特征在于，更新所述预测模型的步骤包括：

生成一用户界面以显示所述量测数据与所述预测数据之间的差值和所述预设范围；

接收更新预测模型的指令；

利用所述生产数据和所述量测数据重建或调整所述预测模型。

4.如权利要求1所述的虚拟量测方法，其特征在于，在推算所述预测数据后，所述方法还包括：

判断是否预测成功；

若未预测成功，则发出报警信息；

若预测成功，则生成一用户界面以显示所述预测数据。

5.如权利要求1所述的虚拟量测方法，其特征在于，所述方法还包括：

获取所述生产数据和已量测产品的量测数据；

利用所述生产数据和所述量测数据建立所述预测模型，所述预测模型为统计模型或机器学习模型。

6.如权利要求5所述的虚拟量测方法，其特征在于，获取所述生产数据和已量测产品的量测数据的步骤包括：

接收至少一所述生产装置发出的所述生产数据和至少一量测装置发出的所述量测数据；

对所述生产数据和所述量测数据进行抽取、转换和加载；

将所述生产数据和所述量测数据存储于一分析资料库中。

7.如权利要求6所述的虚拟量测方法，其特征在于，所述方法还包括：

每隔预定时间，对比多个所述量测装置对同一产品的量测数据，以校正所述量测数据。

8.如权利要求1所述的虚拟量测方法，其特征在于，所述尺寸数据包括产品的膜厚和线宽。

9.一种虚拟量测装置，所述装置包括处理器及存储器，所述存储器上存储有若干计算机程序，其特征在于，所述处理器用于执行存储器中存储的计算机程序时实现如权利要求1-8任一项所述的虚拟量测方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有多条指令，多条所述指令可被一个或者多个处理器执行，以实现如权利要求1-8任一项所述的虚拟量测方法的步骤。