[发明专利]一种快捷方便的断裂顶针回收装置

权利要求书

1.一种快捷方便的断裂顶针回收装置，包括进行化学气相沉积的腔室（1），所述腔室（1）中部设有加热台（2），所述加热台（2）上放置有晶圆（3），所述腔室（1）底部上设有顶针机构，所述腔室（1）侧壁上设有宽槽孔（101），所述腔室（1）底部下方设有抽气腔（11），所述抽气腔（11）通过抽气管道（13）连接有真空泵（12），其特征在于：包括阻挡片（50）、疏通装置以及储存装置，其中：

所述阻挡片（50）呈环形，套设在所述加热台（2）上，所述疏通装置设于所述加热台（2）上，所述储存装置设置于所述腔室（1）底部；

所述阻挡片（50）环形结构上落有碎顶针，所述疏通装置将所述碎顶针疏通至储存装置中；

所述疏通装置包括凸起（202）、若干轴向通道（203）和径向凹槽（204），所述阻挡片（50）与所述加热台（2）接触处为所述凸起（202），所述凸起（202）中部设有所述径向凹槽（204），若干所述轴向通道（203）与所述径向凹槽（204）连通；

氮气从若干轴向通道（203）底部进入所述腔室（1），从所述径向凹槽（204）喷出，将碎顶针从掉落区域吹到所述腔室（1）的内侧边缘位置。

2.根据权利要求1所述的一种快捷方便的断裂顶针回收装置，其特征在于：包括若干圆孔（501）和中心孔（502），所述阻挡片（50）中部为中心孔（502），所述阻挡片（50）环形结构上分布若干所述圆孔（501）。

3.根据权利要求2所述一种快捷方便的断裂顶针回收装置，其特征在于：若干所述圆孔（501）孔径小于所述顶针（8）横截面直径。

4.根据权利要求2所述的一种快捷方便的断裂顶针回收装置，其特征在于：所述凸起（202）横截面外径小于所述中心孔（502）直径，且所述凸起（202）轴侧面与所述中心孔（502）孔壁接触，同时所述径向凹槽（204）槽口位于所述阻挡片（50）上方。

5.根据权利要求2所述的一种快捷方便的断裂顶针回收装置，其特征在于：所述储存装置包括若干间隔槽（102）、内密封槽（103）、外密封槽（104）、若干螺纹孔（105）以及环形堵板（60），若干所述间隔槽（102）沿所述腔室（1）底部分布一圈，若干所述间隔槽（102）内圈设有所述内密封槽（103），外圈设有所述外密封槽（104），所述内密封槽（103）以及所述外密封槽（104）安装有密封圈并通过所述环形堵板（60）封堵，所述环形堵板（60）通过若干所述螺纹孔（105）固定在所述腔室（1）底部。

6.根据权利要求2所述的一种快捷方便的断裂顶针回收装置，其特征在于：还包括若干密封圈（15），所述轴向通道（203）底部与所述抽气腔（11）接触处通过若干所述密封圈（15）密封。