[发明专利]一种表面选择性织构太阳能电池的制造方法及太阳能电池在审
| 申请号: | 201911289187.0 | 申请日: | 2019-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN110854241A | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
| 发明(设计)人: | 武禄;杨洁;张昕宇 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/068 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王雨 |
| 地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 表面 选择性 太阳能电池 制造 方法 | ||
本发明公开了一种表面选择性织构太阳能电池的制造方法,通过在经过背表面制绒的太阳能电池前置物的织构化区域设置掩膜层;通过选择性抛光溶液对所述太阳能电池前置物的背表面的非织构化区域进行抛光,所述选择性抛光溶液在所述抛光过程中不能蚀穿所述掩膜层;通过表面清洗剂去除所述掩膜层,设置钝化层与电极,得到具有选择性织构化的太阳能电池。本发明通过在即将设置所述太阳能电池前置物的电极的所述织构化区域设置掩膜,将所述太阳能电池前置物的背表面分为对应电极设置位置的所述织构化区域及无电极设置的所述非织构化区域,工艺难度低,所得太阳能电池转换效率高。本发明还提供了一种具有上述有益效果的太阳能电池。
技术领域
本发明涉及新能源领域,特别是涉及一种表面选择性织构太阳能电池的制造方法及太阳能电池。
背景技术
随着光伏发电技术的不断发展,各种新型高效的太阳能电池前置物层出不穷。尤其随着平价上网时代的到来,如何制作更加高效稳定的电池成为光伏行业的首要任务。
而晶体硅太阳能电池前置物发展至今,在钝化结构上经历了背面无钝化(Al-BSF)、非接触钝化(PERC、PERT、PERL)和接触钝化(TOPCon、HIT)的演进,随着结构的越发完善,晶硅太阳能电池前置物的光电转换效率逐渐接近其理论极限。而就目前来看,其转换率的理论值的绝对值还有一定的提高空间,因此,对于本领域的技术人员来说,如何通过新工艺、新结构进一步简单易行地提升太阳能电池前置物的光电转化效率,是本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种表面选择性织构太阳能电池的制造方法及太阳能电池,以解决现有技术中太阳能电池前置物内耗高,光电转化效率低的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供一种表面选择性织构太阳能电池的制造方法,包括:
在经过背表面制绒的太阳能电池前置物的织构化区域设置掩膜层;
通过选择性抛光溶液对上述太阳能电池前置物的背表面的非织构化区域进行抛光,上述选择性抛光溶液在上述抛光过程中不能蚀穿上述掩膜层;
通过表面清洗剂去除上述掩膜层,设置钝化层与电极,得到具有选择性织构化的太阳能电池。
可选地,在上述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法中,上述在经过背表面制绒的太阳能电池前置物的织构化区域设置掩膜层包括:
在上述太阳能电池前置物表面整面设置掩膜层;
在上述织构化区域对应的上述掩膜层上方设置有机物层;
通过腐蚀剂去除未被上述有机物层覆盖的上述掩膜层;
通过有机物溶解液去除上述有机物层,得到在上述织构化区域设置的掩膜层。
可选地,在上述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法中,上述有机物层为石蜡层。
可选地,在上述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法中,上述在经过背表面制绒的太阳能电池前置物的织构化区域设置掩膜层包括:
在上述太阳能电池前置物表面整面设置掩膜层;
激光刻蚀上述非织构化区域,得到在上述织构化区域设置的掩膜层。
可选地,在上述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法中,上述在经过背表面制绒的太阳能电池前置物的织构化区域设置掩膜层包括:
通过丝网印刷或喷墨打印在上述织构化区域设置上述掩膜层。
可选地,在上述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法中,在上述激光刻蚀上述非织构化区域之后,还包括:
通过去氧化剂去除上述激光刻蚀产生的热氧化层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





