[发明专利]一种表面选择性织构太阳能电池的制造方法及太阳能电池

权利要求书

1.一种表面选择性织构太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：

在经过背表面制绒的太阳能电池前置物的织构化区域设置掩膜层；

通过选择性抛光溶液对所述太阳能电池前置物的背表面的非织构化区域进行抛光，所述选择性抛光溶液在所述抛光过程中不能蚀穿所述掩膜层；

通过表面清洗剂去除所述掩膜层，设置钝化层与电极，得到具有选择性织构化的太阳能电池。

2.如权利要求1所述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述在经过背表面制绒的太阳能电池前置物的织构化区域设置掩膜层包括：

在所述太阳能电池前置物表面整面设置掩膜层；

在所述织构化区域对应的所述掩膜层上方设置有机物层；

通过腐蚀剂去除未被所述有机物层覆盖的所述掩膜层；

通过有机物溶解液去除所述有机物层，得到在所述织构化区域设置的掩膜层。

3.如权利要求2所述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述有机物层为石蜡层。

4.如权利要求1所述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述在经过背表面制绒的太阳能电池前置物的织构化区域设置掩膜层包括：

在所述太阳能电池前置物表面整面设置掩膜层；

激光刻蚀所述非织构化区域，得到在所述织构化区域设置的掩膜层。

5.如权利要求1所述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述在经过背表面制绒的太阳能电池前置物的织构化区域设置掩膜层包括：

通过丝网印刷或喷墨打印在所述织构化区域设置所述掩膜层。

6.如权利要求4或5所述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法，其特征在于，在所述激光刻蚀所述非织构化区域之后，还包括：

通过去氧化剂去除所述激光刻蚀产生的热氧化层。

7.如权利要求6所述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法，其特征在于，具体为：

通过氢氧化钠溶液或氢氧化钾溶液去除所述激光刻蚀产生的热氧化层及所述掩膜层，得到具有选择性织构化的太阳能电池。

8.如权利要求1所述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述表面清洗剂为氢氟酸。

9.如权利要求1所述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法，其特征在于，当所述太阳能电池前置物为钝化接触电池时，所述掩膜层为二氧化硅掩膜层或碳化硅掩膜层或氮化硅掩膜层；

当所述太阳能电池前置物为非钝化接触电池时，所述掩膜层为磷硅玻璃或硼硅玻璃。

10.一种太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池为经过如权利要求1至9任一项所述的表面选择性织构太阳能电池的制造方法得到的太阳能电池。