[发明专利]一种单晶硅SE-PERC太阳能电池制造方法在审

专利信息
申请号: 201911277158.2 申请日: 2019-12-12
公开(公告)号: CN111106206A 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 韩大伟;林纲正;陈刚 申请(专利权)人: 浙江爱旭太阳能科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0224
代理公司: 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 代理人: 金丽英
地址: 322000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 se perc 太阳能电池 制造 方法
【说明书】:

发明公开一种单晶硅SE‑PERC太阳能电池制造方法,包括制绒、扩散、正面激光、刻蚀、退火、背面钝化膜、正面钝化膜、背面激光、背面印刷、正面印刷、烧结、光衰处理步骤,其特征在于:所述正面印刷步骤包括主栅线印刷流程、副栅线印刷流程,所述主栅线边缘设有多个用于与所述副栅线搭接的喇叭口,所述喇叭口远离所述主栅线的端部设有凹口,所述主栅线印刷流程印刷所述主栅线和所述喇叭口,所述副栅线印刷流程将所述副栅线靠近主栅线的端部印刷在所述凹口上方位置使所述副栅线搭接在所述喇叭口上。本发明改善主副栅存在的“断崖式”高度差,使副栅线较平缓与主栅喇叭口接触。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其是一种单晶硅SE-PERC太阳能电池制造方法。

背景技术

传统的SE-PERC太阳能电池制造步骤为:

1.制绒:在P型单晶硅片表面形成绒面;

2.扩散:通过扩散形成P-N结;

3.正面激光:制备选择发射极,用激光对硅片表面进行重掺杂;

4.刻蚀:使用HF/HNO3溶液进行背面抛光,使用HF去除正面及背面扩散过程中形成的磷硅玻璃(PSG);

5.退火:重新激活硅片表面死层中的磷原子,修复悬挂键,形成二氧化硅层;

6.背面钝化膜:制备氧化铝及氮化硅膜;

7.正面钝化膜:制备氮化硅或者氧化硅钝化膜,降低反射率,降低硅片的表面复合速度;

8.背面激光:形成背接触;

9.背面印刷:印刷背银、背面铝浆;

10.正面印刷:印刷正银电极浆料;

10.烧结:形成欧姆接触;

11.光衰处理:对硅片进行抗LID退火处理,制得P型SE-PERC双面太阳能电池

第10步骤为正银浆料印刷,目前印刷的方式主要分为单次印刷和两次印刷,多数生产晶硅电池片的公司采用单次印刷正电极,而正电极中主栅的主要作用是收集由副栅汇聚而来的电流。这就造成了单次印刷的局限,即正电极的主副删使用同一种正面银浆,主栅的印刷宽度较宽导致其与硅片进行欧姆接触时,在主栅与硅接触周围产生大量的金属复合,致使晶硅电池片的开路电压和短路电流下降,影响电池片的光电转换效率。使用两次印刷将主删和副删分开依次印刷,主栅的正银浆料使用含量较少的玻璃粉成分,使其不与硅表面接触,副栅使用正常的印刷浆料使其与硅表面充分接触来收集电流。副栅线上的电流通过搭接主栅线汇聚到主栅上,最终将电流导出。但由于主副栅存在的 “断崖式”高度差,主栅喇叭口与副栅重叠部分“凸出”会划伤相邻电池片铝背场。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:传统主副栅存在的 “断崖式”高度差,主栅喇叭口与副栅重叠部分“凸出”会划伤相邻电池片铝背场。

本发明解决该技术问题采用的技术方案是:

一种单晶硅SE-PERC结构电池的制备方法,包括制绒、扩散、正面激光、刻蚀、退火、背面钝化膜、正面钝化膜、背面激光、背面印刷、正面印刷、烧结、光衰处理步骤,其特征在于:所述正面印刷步骤包括主栅线印刷流程、副栅线印刷流程,所述主栅线边缘设有多个用于与所述副栅线搭接的喇叭口,所述喇叭口远离所述主栅线的端部设有凹口,所述主栅线印刷流程印刷所述主栅线和所述喇叭口,所述副栅线印刷流程将所述副栅线靠近主栅线的端部印刷在所述凹口上方位置使所述副栅线搭接在所述喇叭口上。

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