[发明专利]一种集成式多轴磁性流体密封装置

说明书

本发明公开了一种集成式多轴磁性流体密封装置，包括：多轴磁性流体密封结构，所述的多轴磁性流体密封结构采用集成式设置，包括多个从大气侧向真空侧传输单向或双向旋转运动的同心轴、多个磁性流体密封组件和传动轴承；所述的多轴磁性流体密封结构的封装开口设置在真空侧并且通过自锁结构密封锁紧；波纹管结构，所述的波纹管结构布设在多轴磁性流体密封结构的外部形成真空区域，所述的多轴磁性流体密封结构处于真空区域内部。该集成式多轴磁性流体密封装置，整体式结构，结构优化，单向或双向旋转，多个同心轴都能承载，且高速旋转。而且该装置安装开口设置在真空侧，在设备高速转动过程中不会产生松动漏气现象，保证了真空设备的使用性能。

技术领域

本发明涉及真空密封装置技术领域，尤其是涉及一种集成式多轴磁性流体密封装置。

背景技术

在真空设备上，传动机构把旋转运动由大气侧传入真空侧时，旋转动密封应用磁性流体密封结构。有的设备因工艺不同，需要承载工件能多转向、高转速旋转运动且和轴向运动联合运行时，设备制造商按单元结构分别采购多个不同功能的磁性流体密封装置和轴向运动密封的波纹管装置，进行组装，设备总装时将多个磁流体密封装置、波纹管装置等独立单元系统先后与机构组装，然后对各系统分别检漏测试。这种设备分单元设计和组装的缺陷是，联接过渡结构多、组装累积公差大、精度降低。组装、调试和测试时间长，发生泄漏时排查时间长，整体设备的制造周期长，设备运行维护成本高。

中国专利文献（公告日：2014年8月27日，公告号：CN203796966U）公开了一种双轴磁性流体密封装置，包括同轴壳体、磁密封部件、传动轴和轴承，所述磁密封部件设在传动轴的两侧，所述轴承设在磁密封部件的两端，所述传动轴包括内传动轴和外传动轴，所述内传动轴穿射外传动轴，所述轴承包括内传动轴轴承和外传动轴轴承，所述磁密封部件包括内传动轴磁密封部件和外传动轴磁密封部件；本实用新型的有益效果为：此种双轴结构的磁流体密封装置通过使用一套磁流体可同时提供两组动力，解决了一些在密封空间上有局限的设备，实用性强，市场价值高。

上述技术方案虽然公开了一种双轴磁性流体密封装置，但是该结构由于其壳体和外轴的开口朝向大气体侧，轴承需要通过顶盖来定位，因此，在使用过程，尤其是在高速正、反双向旋转过程中会出现轴向松动现象，从而影响整个密封性能，进而影响设备的使用。

发明内容

本发明的目的是提供一种集成式多轴磁性流体密封装置，采用整体式结构，集成多轴、高转速旋转运动密封和轴向运动密封为一整体，并且采用开口端设置在真空侧进行锁紧，从而保证整体真空密封性和传输功能，能适应设备的不同工艺要求。这样的结构使得密封装置，结构更加优化，联接部件数量减少，外形尺寸减小，整体结构需要的安装空间更小，且累积公差小，装置的制造精度提高。缩短了设备的总装工时，省略了单元结构的调试检漏时间，提高整套设备产能。能适用于多轴承载，多转向，高速旋转的真空设备。

本发明实现其发明目的所采用的技术方案是：一种集成式多轴磁性流体密封装置，包括：

多轴磁性流体密封结构，所述的多轴磁性流体密封结构采用集成式设置，包括多个从大气侧向真空侧传输单向或双向旋转运动的同心轴、多个磁性流体密封组件和传动轴承； 所述的多轴磁性流体密封结构的封装开口设置在真空侧并且通过自锁结构锁紧；

波纹管结构，所述的波纹管结构布设在多轴磁性流体密封结构的外部形成真空区域，所述的多轴磁性流体密封结构处于真空区域内部。