[发明专利]一种集成式多轴磁性流体密封装置

权利要求书

1.一种集成式多轴磁性流体密封装置，其特征在于包括：

多轴磁性流体密封结构（1），所述的多轴磁性流体密封结构采用集成式设置，包括多个从大气侧向真空侧传输单向或双向旋转运动的同心轴、多个磁性流体密封组件（3）和传动轴承； 所述的多轴磁性流体密封结构（1）的封装开口设置在真空侧并且通过自锁结构锁紧；所述的同心轴包括中心轴（5）、中间轴（9）和基轴（7）；所述的中心轴（5）朝向真空侧的一端设置有中心轴定位结构（6），所述的中心轴定位结构（6）设置为定位轴肩，对真空侧内传动轴承定位，朝向大气侧的一端为开方式结构；所述的基轴（7）设置在同心轴的最外部，所述的基轴（7）朝向真空侧一端的内径为开方式结构，朝向大气侧的一端的内径设置有基轴定位结构（8），所述的基轴定位结构（8）设置为轴承的外圈定位台阶；所述的中间轴（9）设置在中心轴（5）与基轴（7）中间，所述的中间轴（9）朝向真空侧一端的内径为开方式结构，朝向大气侧一端的内径设置有中间轴定位结构（10），所述的中间轴定位结构（10）设置为定位轴肩对大气侧传动轴承定位；所述的自锁结构为锁紧排气孔（17）或排气螺钉（19），所述的锁紧排气孔（17）内部嵌设有锁紧式螺纹套（18）；

波纹管结构（2），所述的波纹管结构（2）布设在多轴磁性流体密封结构（1）的外部形成真空区域（11），所述的多轴磁性流体密封结构（1）处于真空区域（11）内部。

2.根据权利要求1所述的一种集成式多轴磁性流体密封装置，其特征在于：所述的中心轴（5）上的内传动轴承布置在磁性流体密封组件（3）两侧；所述的中心轴（5）上设置的传动轴承为内传动轴承，所述的内传动轴承的内圈通过套设在中心轴上的一组内圈定位隔套（12）定位；所述的中心轴（5）上的真空侧内传动轴承、内圈定位隔套（12）、磁性流体密封组件（3）、内圈定位隔套（12）、大气侧内传动轴承依次自大气侧装入，大气侧内传动轴承的内圈通过锁紧件（16）锁紧。

3.根据权利要求1所述的一种集成式多轴磁性流体密封装置，其特征在于：所述的中间轴（9）自大气侧向真空侧套设在中心轴（5）上，并且真空侧开放式内径与中心轴上的传动轴承外圈配合作为传动轴承外圈的定位基座；所述的中间轴真空侧通过一内传动压盖（14）对内传动轴承外圈实现锁紧。

4.根据权利要求1所述的一种集成式多轴磁性流体密封装置，其特征在于：所述的中间轴（9）上设置的传动轴承为外传动轴承，所述的外传动轴承的外圈通过套设在中间轴上的一组外圈定位隔套（13）定位；所述的中间轴上自大气侧一端依次设置有外传动压盖（15）、真空侧外传动轴承、外圈定位隔套（13）、磁性流体密封组件（3）、外圈定位隔套（13）、大气侧外传动轴承，真空侧外传动轴承装入后通过一挡圈对外传动轴承的内圈定位，大气侧外传动轴承内圈放松；所述的基轴（7）自大气侧装设在中间轴（9）外部。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种集成式多轴磁性流体密封装置，其特征在于：所述的传动轴承为单列或多列组合，所述的传动轴承包括内传动轴承（41）和外传动轴承（42）。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的一种集成式多轴磁性流体密封装置，其特征在于：所述的中心轴（5）、中间轴（9）、磁性流体密封组件（3）、传动轴承构成内传动密封组件。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的一种集成式多轴磁性流体密封装置，其特征在于：所述的中间轴（9）、基轴（7）、磁性流体密封组件（3）、传动轴承构成外传动密封组件。

8.根据权利要求1至4任意一项所述的一种集成式多轴磁性流体密封装置，其特征在于：所述的基轴大气侧一端设置有基轴法兰（20），所述的波纹管结构（2）一端与基轴法兰（20）联接，另一端通过一过渡法兰（21）与设备真空室（22）联接。