[发明专利]光学调制器

说明书

本发明涉及一种光学调制器，其包括：波导，其由半导体制成，光被输入到波导的一端；以及第一电极，其设置在波导上并与波导的一部分重叠，其中，波导从一端起沿光的传播方向具有第一区域至第三区域，第二区域在传播方向上位于第一区域侧的部分以及第一区域均不与第一电极重叠，第二区域在传播方向上位于第三区域侧的部分以及第三区域与第一电极重叠，第二区域的第二宽度大于第一区域的第一宽度和第三区域的第三宽度。

技术领域

本发明涉及一种光学调制器。

背景技术

开发了一种包括半导体层并调制光的光学调制器(例如，参见M.Yuda,M.Fukudaand H.Miyazawa,Degradation mode in semiconductor optical modulators,ELECTRONICS LETTERS,1995,

September 28th,Vol.31,No.20,pp.1778-1779)。

发明内容

当将光输入到光学调制器并且将电压施加到光学调制器的电极时，光学调制器运行。光学调制器的半导体层吸收光并产生电流。由于光吸收引起的电流，会发生短路击穿(short breakage)。因此，本发明的目的是提供一种能够抑制短路击穿的光学调制器。

根据本发明的一个方面，提供了一种光学调制器，其包括：波导，其由半导体制成，光被输入到波导的一端；以及第一电极，其设置在波导上并与波导的一部分重叠，其中，波导从一端起沿光的传播方向依次具有第一区域、第二区域和第三区域，第二区域在传播方向上位于第一区域侧的部分以及第一区域均不与第一电极重叠，第二区域在传播方向上位于第三区域侧的部分以及第三区域均与第一电极重叠，第一区域具有第一宽度，第二区域具有第二宽度，第三区域具有第三宽度，并且第二宽度大于第一宽度和第三宽度。

附图说明

图1示出了根据第一实施例的光学调制器的波导的平面图；

图2示出了根据第一实施例的光学调制器的平面图；

图3示出了将调制电极周围的部分放大的平面图；

图4A和图4B示出了分支波导周围的剖视图；

图5示出了调制电极及其附近被放大的比较例的平面图；

图6A和图6B示出了比较例的I-V特性；并且

图7A和图7B示出了第一实施例的I-V特性。

具体实施方式

[本发明的实施例的描述]

首先，如下面所列举地那样描述本发明的实施例的主题。

本发明的实施例是：(1)一种光学调制器，其包括：波导，其由半导体制成，光被输入到波导的一端；以及第一电极，其设置在波导上并与波导的一部分重叠，其中，波导从一端起沿光的传播方向依次具有第一区域、第二区域和第三区域，第二区域在传播方向上位于第一区域侧的部分以及第一区域均不与第一电极重叠，第二区域在传播方向上位于第三区域侧的部分以及第三区域均与第一电极重叠，第一区域具有第一宽度，第二区域具有第二宽度，第三区域具有第三宽度，并且第二宽度大于第一宽度和第三宽度。当第二宽度较大时，光的密度降低。并且，由光吸收引起的电流密度降低。因此，降低了由电流引起的热量。并且抑制了电流的增加。因此，抑制了短路击穿。并且，当第三宽度较小时，可以抑制不必要的导模(guided mode)的发生。

(2)波导可以具有沿传播方向在第一区域和第二区域之间的第四区域。波导可以具有沿传播方向在第二区域和第三区域之间的第五区域。第四区域的宽度可以从第一区域侧朝向第二区域侧增加。第五区域的宽度可以从第二区域侧朝向第三区域侧减小。第四区域和第五区域相对于传播方向的倾斜角的正切可以为0.002以上且0.05以下。