[发明专利]光学调制器

权利要求书

1.一种光学调制器，包括：

波导，其由半导体制成，光被输入到所述波导的一端；以及

第一电极，其设置在所述波导上并与所述波导的一部分重叠，

其中，所述波导从所述一端起沿所述光的传播方向依次具有第一区域、第二区域和第三区域，

所述第二区域在所述传播方向上位于所述第一区域侧的部分以及所述第一区域均不与所述第一电极重叠，

所述第二区域在所述传播方向上位于所述第三区域侧的部分以及所述第三区域均与所述第一电极重叠，

所述第一区域具有第一宽度，

所述第二区域具有第二宽度，

所述第三区域具有第三宽度，

所述第二宽度大于所述第一宽度和所述第三宽度。

2.根据权利要求1所述的光学调制器，其中，所述波导具有沿所述传播方向在所述第一区域和所述第二区域之间的第四区域，

所述波导具有沿所述传播方向在所述第二区域和所述第三区域之间的第五区域，

所述第四区域的宽度从所述第一区域侧朝向所述第二区域侧增加，

所述第五区域的宽度从所述第二区域侧朝向所述第三区域侧减小，

所述第四区域和所述第五区域相对于所述传播方向的倾斜角的正切为0.002以上且0.05以下。

3.根据权利要求1或2所述的光学调制器，其中，所述第二宽度为所述第一宽度的两倍以上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学调制器，其中，所述第二宽度为2μm以上且5μm以下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学调制器，其中，所述第三宽度等于所述第一宽度。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光学调制器，还包括：

基板；

第一半导体层，其设置在所述基板上并具有第一导电类型；

芯层，其设置在所述第一半导体层上；

第二半导体层，其设置在所述芯层上并具有第二导电类型；以及

第二电极，其与所述第一半导体层电连接，

其中，所述第一电极与所述第二半导体层电连接，

所述波导包括所述第一半导体层、所述芯层和所述第二半导体层。

7.根据权利要求6所述的光学调制器，其中，所述第一半导体层和所述第二半导体层包含磷化铟和铟镓砷，

所述波导包含镓铟砷磷。