[发明专利]一种可加热VUV光电离源

权利要求书

1.用于质谱分析的可加热VUV光电离源，包括真空紫外光源（1）、电离源腔体（3）、进样加热陶瓷管（18）、进样保温管（15）、进样管路（16）、进样电极（4）、陶瓷加热环（5）、传输电极（13）、第一锥孔电极（12）、隔热绝缘环（11）、第二锥孔电极（10）和真空泵（6），其特征在于：

以向下的方向为Y方向、向右的方向为X方向；

包括一中空密闭电离源腔体（3），于电离源腔体（3）上壁面中心开设有通孔，真空紫外光源（1）置于电离源腔体（3）外部，其出光口四周边缘或四周壁面通过第一密封圈（201）与电离源腔体（3）上壁面或通孔四周边缘连接，且其出光口与上壁面通孔同轴放置；电离源腔体（3）内部沿真空紫外光（20）出射方向依次设置有环状进样电极（4）、环状陶瓷加热环（5）、环状传输电极（13）、环状陶瓷加热环（5）、第一锥孔电极（12）、环状隔热绝缘环（11）、第二锥孔电极（10），它们均平行、中心孔同轴且紧密叠合连接；第二锥孔电极（10）下表面锥孔四周边缘通过第二密封圈（203）与电离源腔体（3）底面离子出口（9）四周边缘连接；

进样电极（4）、陶瓷加热环（5）、传输电极（13）均为中部带有通孔的板状结构或环状平板，其中进样电极（4）沿径向方向开设有1个第一圆形通孔（19）作为样品入口，传输电极（13）沿径向方向开设有2个或3个以上的第二圆形通孔（14）作为与抽气泵相连中性分子抽气口；第一温度传感器（801）置于陶瓷加热环（5）和第一锥孔电极（12）之间；于电离源腔体（3）下壁面开设有作为离子出口（9）的通孔，下壁面通孔与上壁面通孔中心同轴；

进样保温管（15）由电离源腔体（3）外部进入内部，其外壁面通过第三密封圈（202）密封与电离源腔体（3）连接；进样管路（16）穿过进样保温管（15）并伸入至进样电极（4）的第一圆形通孔（19）内部；一进样加热陶瓷管（18）置于进样保温管（15）内部并穿套于进样管路（16）外部；进样管路（16）的外壁面与进样保温管（15）靠进样电极（4）一侧出口处为密封连接；第二温度传感器（802）置于进样加热陶瓷管（18）外部进样保温管（15）内；

电离源腔体（3）远离进样管路（16）的另一侧壁通过焊接管路（7）与真空泵（6）相连；

进样电极（4）、陶瓷加热环（5）、传输电极（13）中间小孔直径大小为2~20mm；第一锥孔电极（12）与第二锥孔电极（10）的锥孔直径为0.2~2 mm。

2.根据权利要求1所述的可加热VUV光电离源，其特征在于：

进样管路（16）材质是金属或塑料，内径为0.075~0.5 mm。

3.根据权利要求1所述的可加热VUV光电离源，其特征在于：

于进样电极（4）、传输电极（13）、第一锥孔电极（12）、第二锥孔电极（10）上按照电压从高到低的顺序，依次加载不同的电压V1、V2、V3、V4，在电离源内轴线方向形成大小为1~50V/cm的离子传输电场。

4.根据权利要求1所述的可加热VUV光电离源，其特征在于：

离子出口（9）与质量分析器相连，所述的质量分析器为飞行时间质量分析器、四极杆质量分析器或离子阱质量分析器。

5.根据权利要求1所述的可加热VUV光电离源，其特征在于：

真空紫外光源为气体放电灯光源、激光光源或同步辐射光源。