[发明专利]一种组合式晶圆盒

说明书

本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种组合式晶圆盒，包括盒体，所述盒体的内壁活动安装有分割网，所述分割网包括固定管和隔离网。该组合式晶圆盒，固定管和隔离网在未充气时，占用空间较少，不降低晶圆放置数量，在晶圆放入后，将固定管和隔离网充气，固定管膨胀紧贴晶圆的载具，固定效果和缓冲效果更好，减少晶圆的碎裂，同时若受到较大的冲击晶圆碎裂时，由于隔离网将两片晶圆隔离开来，减少碎片伤害其他晶圆的概率，盒体和分割网为组合形式的，分开清理，没有狭小的缝隙，清洁效果更好，内部颗粒物整体较少，同时在隔离网膨胀时膨胀节互相摩擦产生静电，会束缚住晶圆箱内的微小颗粒，进一步降低颗粒物污染晶圆的概率。

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域，具体为一种组合式晶圆盒。

背景技术

晶圆盒用于运输和储存晶圆，在运输过程中，会发生晶圆破裂损毁的现象，而由于晶圆盒内存储很多片晶圆，晶圆碎片会在盒内扩散并污染其他晶圆，而随着工艺的进步，对晶圆质量的要求越来越高，轻微的污染都可能导致晶圆报废，而由于晶圆自身的价值也越来越高，减少晶圆破损带来的污染带来的损失也日益重要，一些晶圆盒内会设置隔板，将晶圆盒隔离成几个部分，以降低意外碎片带来的损失，但是隔板不能设置过多，否则晶圆盒装载晶圆的能力降低，单个腔室仍然有多片晶圆，可能会受到碎片污染。

进一步地，工艺提高对晶圆表面的洁净度的要求也越来越高，虽然晶圆盒是封闭状态的，但晶圆载具与晶圆盒插槽以及盒盖与盒体之间的摩擦均会产生颗粒物，且盒盖打开时也会吸附空气中的颗粒，随着盒内颗粒的增多，也会污染盒内的晶圆。

发明内容

针对上述背景技术的不足，本发明提供了一种组合式晶圆盒的技术方案，具有洁净程度高，易于清洗的优点，解决了背景技术提出的问题。

本发明提供如下技术方案：一种组合式晶圆盒，包括盒体，所述盒体的内壁活动安装有分割网，所述分割网包括固定管和隔离网，所述固定管紧贴分割网内壁，所述固定管和隔离网均充气膨胀，所述隔离网充气膨胀后封闭网孔，所述隔离网摩擦可产生静电。

优选的，所述固定管通过连接带串连，所述分割网的前后端均设有定位板，所述定位板通过卡条卡槽结构与盒体的内侧壁活动连接。

优选的，所述固定管和隔离网连通，所述固定管的底部连通伸缩管并通过伸缩管连接外部充气装置。

优选的，所述隔离网包括膨胀节和限位管，所述限位管呈绷紧状态，所述膨胀节和限位管呈阡陌交错状态。

优选的，所述膨胀节为中部通气管外部膨胀气囊的双层结构。

本发明具备以下有益效果：

1、该组合式晶圆盒，固定管和隔离网在未充气时，占用空间较少，不降低晶圆放置数量，在晶圆放入后，将固定管和隔离网充气，固定管膨胀紧贴晶圆的载具，固定效果和缓冲效果更好，减少晶圆的碎裂，同时若受到较大的冲击晶圆碎裂时，由于隔离网将两片晶圆隔离开来，减少碎片伤害其他晶圆的概率，有效减少损失。

2、该组合式晶圆盒，盒体和分割网为组合形式的，分开清理，没有狭小的缝隙，清洁效果更好，内部颗粒物整体较少，同时在隔离网膨胀时膨胀节互相摩擦产生静电，会束缚住晶圆箱内的微小颗粒，进一步降低颗粒物污染晶圆的概率，保证晶圆的品质不下降。

附图说明

图1为本发明的正视图；

图2为本发明中分割网的俯视图；

图3为本发明的侧视图；

图4为本发明中分割网局部结构示意图；

图5为本发明中膨胀节的示意图。

图中：1、盒体；2、分割网；21、固定管；22、隔离网；22a、限位管；22b、膨胀节；23、连接带；24、定位板；25、伸缩管。