[发明专利]一种金属电极的制备方法

说明书

本申请公开了一种金属电极的制备方法，包括以下步骤：提供基板；采用喷墨打印技术在所述基板上形成预设图案的金属有机层；其中，所述金属有机层的材料包括金属有机物；采用等离子体技术对所述金属有机层进行处理，以使所述金属有机层中的金属有机物转化为相应的金属，形成预设图案的金属电极。本申请将喷墨打印技术与等离子体技术联用制备金属电极，具有操作简单方便、节省材料、加工精度高、形貌可控的优势，可以有效地将金属电极中金属氧化物转化为对应的金属，有利于获得高电导率的金属电极。

技术领域

本申请涉及显示面板制备技术领域，尤其涉及一种金属电极的制备方法。

背景技术

随着技术的发展，TV(Television，电视机)等显示设备也在向大型化、高画质、高功能化等方向发展，因此，提升产品的特性变得非常重要。显示装置中的布线一般采用金属电极，金属电极在显示设备中起到传输电信号的重要作用，高导电率、低阻抗且成本低的金属材料是金属电极的优选材料，例如铜电极，由于金属铜比金属铝有更高的电导率，使用低阻抗的金属铜作为显示设备中的布线材料时其非阻抗值比使用传统的金属铝作为布线材料时更低，且考虑成膜厚度时金属铜比金属铝成本低，因此金属铜逐渐成为显示设备中金属电极的主要材料。

目前主要采用光刻技术制备金属电极，其工艺包括PVD(Physical VaporDeposition，物理气相沉积)成膜、光阻涂布、光刻、湿蚀刻和光阻剥离等多种工艺，工艺较复杂；且该方法为减材制造技术，造成较多的材料浪费。因此，开发新型的精密加工金属电极的方法具有重要意义。

发明内容

本申请实施例提供一种金属电极的制备方法，以解决金属电极制作工艺复杂且制作过程中材料浪费的技术问题。

本申请实施例提供一种金属电极的制备方法，包括以下步骤：

提供基板；

采用喷墨打印技术在所述基板上形成预设图案的金属有机层；其中，所述金属有机层的材料包括金属有机物；

采用等离子体技术对所述金属有机层进行处理，以使所述金属有机层中的金属有机物转化为相应的金属，形成预设图案的金属电极。

可选的，所述采用喷墨打印技术在所述基板上形成预设图案的金属有机层，包括以下步骤：

通过喷墨头将金属墨水按照预设轨迹打印在所述基板上；所述金属墨水的材料包括金属有机物和溶剂；

对打印后的基板进行加热，以去除所述基板上的金属墨水中的溶剂，形成预设图案的金属有机层。

可选的，所述采用等离子体技术对所述金属有机层进行处理，以使所述金属有机层中的金属有机物转化为相应的金属，包括以下步骤：

采用氧气等离子体对所述金属有机层进行处理，以使所述金属有机层中的金属有机物分解形成对应的金属以及所述金属的氧化物；

采用氢气等离子体对经过所述氧气等离子体处理后的金属有机层进行处理，以使所述金属的氧化物还原形成所述金属。

可选的，所述采用氧气等离子体对所述金属有机层进行处理，以使所述金属有机层中的金属有机物分解形成对应的金属以及所述金属的氧化物，包括以下步骤：

将形成有所述金属有机层的基板置于真空腔室中；

向所述真空腔室中提供氧气等离子体；

通过所述氧气等离子体将所述金属有机层中的金属有机物分解形成对应的金属以及所述金属的氧化物。

可选的，所述采用氢气等离子体对经过所述氧气等离子体处理后的金属有机层进行处理，以使所述金属的氧化物还原形成所述金属，包括以下步骤：

停止向所述真空腔室中提供所述氧气等离子体；