[发明专利]一种全自动料盘脱胶摆盘设备

说明书

本发明涉及自动化设备技术领域，具体涉及一种全自动料盘脱胶摆盘设备，包括机架，安装于机架用于料盘浸泡的脱胶装置，分别安装于机架、并位于脱胶装置一侧的搬送装置、位于脱胶装置另一侧的治具排出传送装置，安装于机架用于在脱胶装置取料的升降翻转装置，所述机架位于升降翻转装置一侧安装有摆盘装置；本发明在脱胶后通过摆盘结构可将晶片逐个抓取进行摆盘，实现全自动脱胶摆盘，省去了后续需要扔摆盘的工序，提升生产效率。

技术领域

本发明涉及自动化设备技术领域，特别是涉及一种全自动料盘脱胶摆盘设备。

背景技术

自动化技术广泛用于工业、农业、军事、科学研究、交通运输、商业、医疗、服务和家庭等方面。采用自动化技术不仅可以把人从繁重的体力劳动、部分脑力劳动以及恶劣、危险的工作环境中解放出来，而且能扩展人的器官功能，极大地提高劳动生产率，增强人类认识世界和改造世界的能力。自动化系统中的大型成套设备，又称自动化装置。是指机器或装置在无人干预的情况下按规定的程序或指令自动进行操作或控制的过程。

现有技术中，在针对硅晶片脱胶中采用了料槽浸泡方式，如中国专利公开号为CN105855213A，公开了一种同一晶托上的胶体一起脱落的硅晶片脱胶工艺，其优点是乳酸的软化胶体就能保证所有硅晶片上的胶体一起脱落，从而避免在脱胶的过程中部分硅晶片氧化。但在其在生产过程中无法实现自动脱胶摆盘，过程中耗时耗力，生产效率低，工作难度高。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种在脱胶后通过摆盘结构可将晶片逐个抓取进行摆盘，实现全自动脱胶摆盘，省去了后续需要扔摆盘的工序，提升生产效率的全自动料盘脱胶摆盘设备。

本发明所采用的技术方案是：一种全自动料盘脱胶摆盘设备，包括机架，安装于机架用于料盘浸泡的脱胶装置，分别安装于机架、并位于脱胶装置一侧的搬送装置、位于脱胶装置另一侧的治具排出传送装置，安装于机架用于在脱胶装置取料的升降翻转装置，所述机架位于升降翻转装置一侧安装有摆盘装置；

所述脱胶装置包括用于放置料盘的治具，用于放置治具的缓存组件，位于缓存组件一侧用于治具浸泡的若干组第一料槽和若干组第二料槽，安装于机架位于第一料槽一侧的取料机械手，所述取料机械手传动于缓存组件、第一料槽和第二料槽。

对上述方案的进一步改进为，所述机架内安装有与所述第一料槽和第二料槽相连的供液泵，所述供液泵连接有循环过滤水箱。

对上述方案的进一步改进为，所述第一料槽数量多于第二料槽数量。

对上述方案的进一步改进为，所述搬送装置包括搬送直线传动模组，传动设置于搬送直线传动模组的搬送机械手，所述搬送机械手将第一料槽内浸泡的治具取料放置到第二料槽。

对上述方案的进一步改进为，所述治具排出传送装置包括排出输送线，所述取料机械手将空料盘取料放置到排出输送线排出。

对上述方案的进一步改进为，所述升降翻转装置包括XYZ三轴传动模组，安装于XYZ三轴传动模组的旋转模组，所述旋转模组驱动端安装有翻转机械手；还包括安装于机架的干燥治具和吸附治具，所述翻转机械手将料盘从第二料槽取料经过干燥治具后放置到吸附治具。

对上述方案的进一步改进为，所述摆盘装置包括摆盘直线模组，传动安装于摆盘直线模组的摆盘机械手，安装于机架位于摆盘直线模组下方的摆盘输送模组，所述摆盘输送模组传动设置有放置盘。

对上述方案的进一步改进为，所述机架表面罩设有排气装置，所述排气装置设置有若干排气管，所述排气管连接有排气罩，所述排气罩对应于脱胶装置。

本发明的有益效果是：