[发明专利]一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手

权利要求书

1.一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手，其结构包括驱动柱（1）、主控板（2）、活动臂（3）、连接板（4）、抓取装置（5），其特征在于：所述主控板（2）安装与驱动柱（1）上表面并通过电焊相连接，所述活动臂（3）末端安装于主控板（2）上表面左侧并通过电焊相连接，所述连接板（4）末端与活动臂（3）另一端相连接，所述抓取装置（5）设于连接板（4）另一端并通过电焊相练级；

所述抓取装置（5）包括夹挤机构（5a）、压合机构（5b），所述压合机构（5b）安装于夹挤机构（5a）内侧下部并通过扣合相连接。

2.根据权利要求1所述的一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手，其特征在于：所述夹挤机构（5a）包括环形套（5a1）、紧夹结构（5a2）、限位槽（5a3）、活动杆（5a4）、限位弹簧（5a5）、下夹环（5a6）、气囊环（5a7），所述紧夹结构（5a2）设于环形套（5a1）内侧并通过电焊相连接，所述限位槽（5a3）设于环形套（5a1）内下部且为一体化结构，所述活动杆（5a4）下端伸入限位套（5a3）内部并与限位弹簧（5a5）通过套合相连接，所述下夹环（5a6）安装于活动杆（5a4）上表面并通过电焊相连接且位于环形套（5a1）内下部，所述气囊环（5a7）设于下夹环（5a6）下表面且与压合机构（5b）相连接，所述气囊环（5a7）与下夹环（5a6）通过胶合相连接。

3.根据权利要求1所述的一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手，其特征在于：所述活动臂（3）和连接板（4）内部均为空心结构且贯穿相连接。

4.根据权利要求2所述的一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手，其特征在于：所述紧夹结构（5a2）包括软铁丝（5a21）、定位鞘（5a22）、绳索（5a23）、紧凑层（5a24），所述定位鞘（5a22）设有三根且分别呈三角形状设于环形套（5a1）内后侧，所述软铁丝（5a21）末端与活动臂（3）内部通过电焊相连接且另一端穿过连接板（4）与绳索（5a23）相连接，所述绳索（5a23）共设有两条且通过缠绕相连接，所述两绳索（5a23）末端分别与紧凑层（5a24）相连接，所述紧凑层（5a24）层半弧形结构且与环形套（5a1）通过扣合相连接。

5.根据权利要求4所述的一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手，其特征在于：所述紧凑层（5a24）包括弹簧拉条（g1）、气胶腔（g2）、接触层（g3），所述气胶腔（g2）设有若干个且分呈均匀等距状安装于弹簧拉条（g1）内侧表面，所述接触层（g3）设于气胶腔（g2）右侧表面并通过胶合相连接。

6.根据权利要求5所述的一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手，其特征在于：所述接触层（g3）表面为网状结构且为橡胶材质。

7.根据权利要求1或2所述的一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手，其特征在于：所述压合机构（5b）包括盘架（5b1）、中支柱（5b2）、压杆（5b3）、弹性气囊（5b4）、输气管（5b5），所述中支柱（5b2）设于盘架（5b1）中部并通过电焊相连接，所述压杆（5b3）共设有三个且分别呈均匀等距状安装于盘架（5b1）表面二分之一处，所述弹性气囊（5b4）共设有三个且分别与压杆（5b3）相对应安装于盘架（5b1）内部，所述输气管（5b5）共设有三根且分别与弹性气囊（5b4）相连接，所述输气管（5b5）另一端与气囊环（5a7）相连接。

8.根据权利要求7所述的一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手，其特征在于：所述中支柱（5b2）与压杆（5b3）上表面均为橡胶材质。