[发明专利]一种晶圆清洗液回收设备

权利要求书

1.一种晶圆清洗液回收设备，其结构包括移动回收装置（1）、遮挡器（2）、导流器（3）、转盘（4）、转轴（5）、电机（6）、推动装置（7），其特征在于：所述转盘（4）底部与转轴（5）相连接，所述转轴（5）底部与设在导流器（3）内的电机（6）相连接，所述导流器（3）的左侧设有遮挡器（2），所述移动回收装置（1）安装在导流器（3）下方，所述动回收槽（1）与推动装置（7）活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗液回收设备，其特征在于：所述导流器（3）包括侧板（30）、倾斜板（31）、围板（32）、底板（33），所述围板（32）底部与底板（33）相连接，所述围板（32）的两端分别连接有侧板（30），所述倾斜板（31）与底板（33）、围板（32）相连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗液回收设备，其特征在于：所述移动回收装置（1）包括滑轨（10）、回收槽（11）、输出管（12）、隔板（13）、支板（14），所述回收槽（11）底部安装在滑轨（10）上，所述回收槽（11）内部设有2个隔板（13）将回收槽（11）分隔成3格，3格底部分别与输出管（12）连通，所述回收槽（11）侧面设有3个支板（14）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗液回收设备，其特征在于：所述推动装置（7）包括PH值检测器（70）、电机罩（71）、微电机（72）、转杆（73）、叶片（74），所述PH值检测器（70）安装在倾斜板（31）上，所述PH值检测器（70）与微电机（72）通过电连接，所述微电机（72）安装在电机罩（71）内，所述电机罩（71）连接在导流器（3）外侧，所述微电机（72）与设在底部的转杆（73）相连接，所述转杆（73）侧面连接有叶片（74）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗液回收设备，其特征在于：所述遮挡器（2）包括导轨（20）、下降板（21）、重力条（22），所述下降板（21）安装在导轨（20）内，所述下降板（21）底部嵌有重力条（22），所述重力条（22）与回收槽（11）顶部相接触。