[发明专利]一种多孔WO3

权利要求书

1.一种多孔WO₃电致变色薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将清洗好的衬底基片放入磁控溅射系统的真空室样品台上，采用高纯钨靶作为溅射靶材，将本底真空抽至10^-3Pa以下，基片温度设定在室温至260-280℃；

(2)向真空室通入惰性气体，调整工作气压，开启钨靶并设定其溅射功率，开始在基片上沉积金属W薄膜，通过控制溅射时间来控制薄膜厚度，溅射结束后在基片上得到金属W薄膜；

(3)在含有F-的电解质溶液中，采用分段阳极氧化电压对所制备的金属W薄膜进行阳极氧化处理，阳极是镀有W薄膜的基片，阴极为不锈钢片，在两极之间施加阳极氧化电压；

(4)对阳极氧化后的样品进行空气退火处理，炉冷至室温，即得到多孔WO₃薄膜；

步骤(3)中所述分段阳极氧化过程分为3个阶段，第一阶段电压控制在25-35V、温度0-5℃、氧化时间5-10min，第二阶段电压控制15-25V、温度5-15℃、氧化时间5-10min，第三阶段电压控制15-25V、温度15-25℃、氧化时间10-20min；

第一阶段和第二阶段氧化完成后分别采用浓度为0.1-0.5mol/L的氢氟酸溶液和水进行超声清洗。

2.根据权利要求1所述的多孔WO₃电致变色薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(2)中惰性气体为氩气，工作气压为1.5-2.5Pa，溅射功率为45-50W，薄膜厚度为800-1200nm。

3.根据权利要求1所述的多孔WO₃电致变色薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(3)中所述的含有F-的电解质溶液为NH₄F在乙二醇和水中的混合溶液，其中NH₄F、乙二醇和水的质量体积比为2～8g∶300～600ml∶7～13ml。

4.根据权利要求1所述的多孔WO₃电致变色薄膜的制备方法，其特征在于，每个阶段阳极氧化完成后，取出基片，进行超声清洗10-15min。

5.根据权利要求1所述的多孔WO₃电致变色薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(4)中退火温度为200-400℃，退火时间为2-4h。

6.一种根据权利要求1-5任一项所述的多孔WO₃电致变色薄膜的制备方法所制备的多孔WO₃电致变色薄膜。

7.一种权利要求6所述的多孔WO₃电致变色薄膜在电致变色材料方面的应用。