[发明专利]晶圆容纳装置及晶圆腐蚀方法

权利要求书

1.一种晶圆容纳装置，其特征在于，所述晶圆容纳装置包括架体(10)、挡柱(20)以及多个卡扣(30)；

所述架体(10)具有多根立柱(11)，每根所述立柱(11)沿竖直方向设置，多根所述立柱(11)沿所述架体(10)的横截面的周向间隔设置，多根所述立柱(11)限定出用于容纳晶圆(40)的容纳腔以及用于所述晶圆(40)进出所述容纳腔的敞口；

多个所述卡扣(30)配置为能够分别卡持在多个所述立柱(11)上，并且相邻所述立柱(11)上的卡扣(30)具有相同的水平高度以向所述晶圆(40)提供支撑，从而使所述晶圆(40)保持在水平状态；

所述挡柱(20)配置为能够安装在所述架体(10)上以部分地遮挡所述敞口，从而限制所述晶圆(40)的进出。

2.根据权利要求1所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述卡扣(30)配置为能够卡持在所述挡柱(20)上以向所述晶圆(40)提供支撑，所述挡柱(20)上的卡扣(30)与相邻的所述立柱(11)上的卡扣(30)具有相同的水平高度。

3.根据权利要求1所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述挡柱(20)的顶端设有第一提手。

4.根据权利要求1所述的晶圆容纳装置，其特征在于，多个所述卡扣(30)能够沿所述立柱(11)的长度方向间隔地卡持在所述立柱(11)上。

5.根据权利要求1所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述架体(10)呈圆柱体结构，所述架体(10)具有圆形的底座(12)以及圆形的顶梁(13)，所述顶梁(13)的形状与所述底座(12)的形状相匹配，多个所述立柱(11)沿所述底座(12)的周向间隔地设置，每个所述立柱(11)的两端均分别同所述底座(12)以及所述顶梁(13)连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述顶梁(13)开设有通孔，所述通孔与所述晶圆(40)相匹配以使所述晶圆(40)能够通过所述通孔进出所述容纳腔。

7.根据权利要求5所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述顶梁(13)上设有第二提手。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的晶圆容纳装置，其特征在于，所述卡扣(30)包括卡持部(31)和支撑部(32)，所述卡持部(31)配置为能够卡持于所述立柱(11)，所述支撑部(32)与所述卡持部(31)相连接并朝所述容纳腔延伸以向所述晶圆(40)提供支撑。

9.一种利用权利要求1-8中任意一项所述的晶圆容纳装置的晶圆腐蚀方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S1、将数量与所述立柱(11)相同的多个所述卡扣(30)分别卡持在多个所述立柱(11)上并保持相同的水平高度；

S2、向所述容纳腔中放入所述晶圆(40)，并使所述晶圆(40)在所述卡扣(30)的支撑下保持水平状态；

S3、重复步骤S1、S2直至所述容纳腔中容纳有目标数量的所述晶圆(40)；

S4、将所述挡柱(20)安装在所述架体(10)上以限制所述晶圆(40)从所述容纳腔中脱出；

S5、将容纳有所述晶圆(40)的所述晶圆容纳装置放入腐蚀液中，待腐蚀完成后再将所述晶圆容纳装置取出；

S6、拆下所述挡柱(20)并倾斜所述架体(10)，使得所述晶圆(40)通过所述敞口从所述容纳腔中脱出。

10.根据权利要求9所述的晶圆腐蚀方法，其特征在于，步骤S2包括：

S2-1、将两个所述晶圆(40)的碳面相对地叠放在一起形成一组晶圆(40)；

S2-2、将该组晶圆(40)放入所述容纳腔中并在所述卡扣(30)的支撑下保持水平状态。