[发明专利]一种物理气相沉积设备在审
| 申请号： | 201911210758.7 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110819959A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 陈卫军;刘岩军;林信南;刘美华 | 申请（专利权）人： | 深圳市晶相技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 设备 | ||
1.一种物理气相沉积设备，其特征在于，包括：
生长腔体；
至少一第一载台，设置在所述生长腔体内；
多个第二载台，设置在所述第一载台上，所述多个第二载台的转速不同于所述第一载台的转速。
2.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于：所述第一载台通过第一转轴连接第一驱动单元，所述第一驱动单元设置在所述生长腔体外。
3.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于：所述第一载台上设置有多个固定孔，所述多个固定孔内设置有多个第二驱动单元，所述多个第二驱动单元通过多个第二转轴连接所述多个第二载台。
4.根据权利要求2所述的物理气相沉积设备，其特征在于：所述第一驱动单元通过所述第一转轴带动所述第一载台以第一转动方向旋转。
5.根据权利要求4所述的物理气相沉积设备，其特征在于：所述多个第二驱动单元通过所述多个第二转轴带动所述多个第二载台以第二转动方向旋转。
6.根据权利要求4或5所述的物理气相沉积设备，其特征在于：所述第一转动方向与所述第二转动方向为相同或相反的转动方向。
7.根据权利要求6所述的物理气相沉积设备，其特征在于：当所述第一转动方向和所述第二转动方向为相同的转动方向时，所述第一载台的转速大于或小于所述第二载台的转速。
8.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于：还包括一靶材，所述靶材位于所述第一载台相对的位置上。
9.根据权利要求8所述的物理气相沉积设备，其特征在于：所述靶材，所述第一载台及所述多个第二载台之间存在转速差。
10.一种物理气相沉积设备，其特征在于，包括：
运送腔体；
预处理腔体，连接所述运送腔体；
生长腔体，连接所述运送腔体，其中，所述生长腔体包括：
至少一第一载台，设置在生长腔体内；
多个第二载台，设置在所述第一载台上，所述多个第二载台的转速不同于所述第一载台的转速。
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