[发明专利]操作气体供应装置的方法、气体供应装置和粒子辐射设备

说明书

本发明涉及一种用于操作气体供应装置(1000)的方法，其中将该气体供应装置(1000)的功能参数显示在显示装置(124)上。另外，本发明涉及一种用于执行该方法的气体供应装置(1000)以及一种具有气体供应装置(1000)的粒子辐射设备(100)。该方法包括预定和/或用温度测量单元(1006)来测量该气体供应装置(1000)的前体储器(1001)的当前温度，其中该前体储器(1001)具有用于供应到物体(125，425)上的前体；将与该前体储器(1001)的当前温度相关的、该前体通过该前体储器(1001)的出口(1004)的流速从数据库(126)中加载到控制单元(123)中，以及(i)在该显示单元(124)上显示该流速和/或(ii)在使用该控制单元(123)的情况下取决于该流速来确定该前体储器(1001)的功能参数，并且将所确定的功能参数通知该气体供应装置(1000)的使用者。

本发明涉及一种用于操作气体供应装置的方法，其中将该气体供应装置的至少一个功能参数显示在显示装置上。另外，本发明涉及一种用于执行该方法的气体供应装置以及一种具有气体供应装置的粒子辐射设备。

电子辐射设备、尤其扫描电子显微镜(以下也称为SEM)和/或透射电子显微镜(以下也称为TEM)用于研究物体(样品)，以获得在某些条件下特性和行为方面的认知。

在SEM的情况下，借助于射束发生器来产生电子射束(以下也称为初级电子射束)并且通过射束引导系统将其聚焦到待研究的物体上。借助于偏转装置以扫描方式在待研究的物体的表面上引导初级电子射束。初级电子射束的电子在此与待研究的物体进行相互作用。作为相互作用的结果，尤其从物体发射电子(所谓的次级电子)并且将初级电子射束的电子返回散射(所谓的返回散射电子)。检测次级电子和返回散射电子并将其用于形成图像。由此获得待研究物体的像。

在TEM的情况下，同样借助于射束发生器来产生初级电子射束并且借助于射束引导系统将其聚焦到待研究的物体上。初级电子射束透射待研究的物体。在初级电子射束穿过待研究的物体时，初级电子射束的电子与待研究的物体的材料进行相互作用。穿透待研究的物体的电子通过由物镜和透射透镜(Projektiv)组成的系统在光屏上或在检测器(例如摄影机)上成像。在此成像还可以在TEM的扫描模式下进行。此类TEM一般称为STEM。另外可以提出，在待研究的物体处借助于另外的检测器来检测返回散射的电子和/或由待研究的物体发射的次级电子，以便将待研究的物体成像。

另外，从现有技术中已知，将组合设备用于研究物体，其中不仅可以将电子还可以将离子引导到待研究的物体上。例如已知的是，使SEM额外地配备离子辐射柱。借助于布置在离子辐射柱中的离子射束发生器来产生离子，这些离子用于制备物体(例如削磨物体的材料或将材料施加到物体上)或者还用于成像。SEM在此尤其用于观察制备过程，但是也用于进一步研究所制备的或未制备的物体。

在另一种已知的粒子辐射设备中，向物体上施加材料例如在采用气体供应的情况下进行。已知的粒子辐射设备是既提供电子射束也提供离子射束的组合设备。粒子辐射设备具有电子辐射柱和离子辐射柱。电子辐射柱提供聚焦到物体上的电子射束。物体布置在保持在真空中的样品室内。离子辐射柱提供同样聚焦到物体上的离子射束。借助于离子射束例如去除物体表面的层。在去除这个层之后暴露出物体的另一个表面。借助于气体供应装置可以允许气态前驱体物质(所谓的前体)进入样品室。已知的是形成具有针状装置的气体供应装置，该针状装置可以以几个μm的距离相当近地布置在物体的位置处，从而可以将气态前驱体物质尽可能准确且以高浓度引导到这个位置。通过离子射束与气态前驱体物质的相互作用，在物体的表面上沉积物质层。例如已知的是，允许气态菲(Phenantren)作为气态前驱体通过气体供应装置进入到样品室中。然后在物体的表面上沉积基本上一层碳或包含碳的层。还已知的是，使用具有金属的气态前驱体，以便将金属或含金属的层沉积在物体的表面上。但是这些沉积不限于碳和/或金属。而是可以在物体的表面上沉积任意物质，例如半导体、非导体或其他化合物。此外还已知的是，在与粒子射束相互作用时使用气态前驱体物质以削磨物体的材料。