[发明专利]操作气体供应装置的方法、气体供应装置和粒子辐射设备

权利要求书

1.一种用于操作用于粒子辐射设备(100，200，400)的气体供应装置(1000)的方法，其中该方法包括以下步骤：

-预定和/或用温度测量单元(1006)来测量该气体供应装置(1000)的前体储器(1001)的当前温度(T)，其中该前体储器(1001)具有用于供应到物体(125，425)上的至少一种前体；

-将与该前体储器(1001)的当前温度(T)相关的、该前体通过该前体储器(1001)的出口(1004)的流速(F)从数据库(126)中加载到控制单元(123)中；以及

-(i)在显示单元(124)上显示该流速(F)和/或(ii)在使用该控制单元(123)的情况下取决于该流速(F)来确定该前体储器(1001)的至少一个功能参数，并且将所确定的功能参数通知该气体供应装置(1000)的使用者。

2.一种用于操作用于粒子辐射设备(100，200，400)的气体供应装置(1000)的方法，其中该方法包括以下步骤：

-预定和/或用温度测量单元(1006)来测量该气体供应装置(1000)的前体的当前温度(T)，其中前体储器(1001)具有用于供应到物体(125，425)上的该前体；

-将与该前体的当前温度(T)相关的、该前体通过该前体储器(1001)的出口(1004)的流速(F)从数据库(126)中加载到控制单元(123)中；以及

-(i)在显示单元(124)上显示该流速(F)和/或(ii)在使用该控制单元(123)的情况下取决于该流速(F)来确定该前体储器(1001)的至少一个功能参数，并且将所确定的功能参数通知该气体供应装置(1000)的使用者。

3.一种用于操作用于粒子辐射设备(100，200，400)的气体供应装置(1000)的方法，其中该方法包括以下步骤：

-预定至少一种前体通过前体储器(1001)的出口(1004)的流速(F)，其中该前体储器(1001)具有用于供应到物体(125，425)上的该前体；

-将与该预定流速(F)相关的、该前体储器(1001)的温度(T)从数据库(126)中加载到控制单元(123)中；以及

-用温度设定单元(1007)将该前体储器(1001)的温度(T)设定为从该数据库(126)中加载的温度(T)；以及

-在使用该控制单元(123)的情况下取决于该流速(F)和从该数据库(126)中加载的温度(T)来确定该前体储器(1001)的至少一个功能参数，并且将所确定的功能参数通知该气体供应装置(1000)的使用者。

4.根据前述权利要求之一所述的方法，其中将所确定的功能参数通知该气体供应装置(1000)的使用者包括以下步骤中的至少一个步骤：

(i)在该显示单元(124)上显示所确定的功能参数；

(ii)用光学信号装置(124)输出光学信号；

(iii)用声学信号装置(124)输出声学信号。

5.根据前述权利要求之一所述的方法，其中取决于该流速(F)和该前体储器(1001)的初始填充量，确定呈该前体储器(1001)的当前填充量的形式的该前体储器(1001)的第一功能参数。

6.根据权利要求5所述的方法，其中在该显示单元(124)上显示呈该前体储器(1001)的当前填充量的形式的该第一功能参数。

7.根据权利要求5或6所述的方法，其中取决于该当前填充量和该流速(F)，确定并显示该前体储器(1001)的第二功能参数，该第二功能参数呈该前体通过该前体储器(1001)的出口(1004)完全消耗该前体储器(1001)的初始填充量之前的剩余运行时间的形式。

8.根据前述权利要求之一所述的方法，其中确定该前体通过该前体储器(1001)的出口(1004)的流速(F)并且存储在该数据库(126)中以便从该数据库(126)中加载到该控制单元(123)中。