[发明专利]压电传感器及其制备方法、显示装置

说明书

本发明提供了一种压电传感器及其制备方法、显示装置，涉及传感器技术领域，能够提高压电传感器的散热性能。其中的压电传感器，包括衬底，衬底包括至少一个凹陷部；凹陷部内填充有导热材料，导热材料的热传导系数大于衬底的热传导系数。压电传感器还包括设置在衬底上的多个压电单元，每个压电单元包括层叠设置的第一电极、压电图案以及第二电极；压电图案的材料为压电材料。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种压电传感器及其制备方法、显示装置。

背景技术

超声波是一种具有频率高、波长短、方向性好、定向传播、穿透率高等优点的机械波。超声波传感器是将超声波信号转换成其他能量信号，该其他能量信号通常是电信号。超声波传感器主要材料有压电晶体及镍铁铝合金两类。压电晶体组成的超声波传感器是一种可逆传感器，它可以将电信号转变成机械振荡而产生超声波信号，同时当它接收到超声波信号时，也能将超声波信号转变成电信号，所以超声波传感器一般包括发送型和接收型两类，但也存在既能发送，同时也能接收的超声波传感器。

发明内容

本发明的实施例提供一种压电传感器及其制备方法、显示装置，能够提高压电传感器的散热性能。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，提供一种压电传感器，包括衬底，所述衬底包括至少一个凹陷部；所述凹陷部内填充有导热材料，所述导热材料的热传导系数大于所述衬底的热传导系数。

所述压电传感器还包括设置在所述衬底上的多个压电单元，每个所述压电单元包括层叠设置的第一电极、压电图案以及第二电极；所述压电图案的材料为压电材料。

可选的，所述凹陷部未贯穿所述衬底，所述凹陷部设置在所述衬底的第一表面，所述压电单元设置在所述衬底的第二表面；其中，所述第一表面和所述第二表面相对。

可选的，所述凹陷部内填充的所述导热材料的厚度与所述凹陷部的凹陷深度相等。

可选的，所述衬底包括多个所述凹陷部。

可选的，所述压电单元在所述衬底上的正投影与所述凹陷部不重叠。

可选的，所述压电图案的尺寸为微米级或纳米级。

可选的，多个所述压电单元中的所述第二电极通过连接电极电连接在一起；所述第二电极与所述连接电极同层同材料。

另一方面，提供一种显示装置，包括显示面板和如上所述的压电传感器。

可选的，所述显示面板包括多个亚像素；所述压电单元在所述显示面板上的正投影与至少一个所述亚像素具有重叠区域。

又一方面，提供一种压电传感器的制备方法，包括：

在衬底上形成至少一个凹陷部。

在所述凹陷部内填充导热材料；其中，所述导热材料的热传导系数大于所述衬底的热传导系数。

在所述衬底上形成多个压电单元；每个所述压电单元包括依次形成在所述衬底上的第一电极、压电图案以及第二电极；所述压电图案的材料为压电材料。

可选的，在所述衬底上形成至少一个所述凹陷部，包括：在所述衬底的第一表面形成所述凹陷部；且所述凹陷部未贯穿所述衬底。

在所述衬底上形成多个所述压电单元，包括：在所述衬底的第二表面形成多个所述压电单元。

所述压电单元在所述衬底上的正投影与所述凹陷部不重叠，或者具有重叠区域。

其中，所述第一表面和所述第二表面相对。

可选的，在所述衬底一侧形成压电图案和所述第二电极，包括：

在所述第一电极上形成压电薄膜。