[发明专利]一种蒸镀机构

说明书

本发明提供一种蒸镀机构，包括坩埚和防尘装置，坩埚置于所述防尘装置上方，坩埚内部用于填充蒸镀材料，坩埚外壁包覆设置有加热装置，坩埚中部设置有多孔分散板，坩埚上部侧壁设置有供蒸镀材料蒸汽喷出的喷嘴，喷嘴与坩埚内部连通，所述喷嘴倾斜向下指向在防尘装置下方一侧的基板放置平台，基板放置平台的底面为平面，基板放置平台用于由上往下依次放置掩膜板和待蒸镀的基板。本方案采用基板在下，蒸镀机构在上的蒸镀方式，通过基板放置平台对基板整体支撑避免基板产生弯曲，从而避免弯曲对基板厚度和尺寸的限制；同时通过防尘装置可以有效防止颗粒掉落，从而防止掩膜板出现塞孔。

技术领域

本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀机构。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)被发明以来，备受业界关注，经过几十年的发展，凭借其轻薄、可挠曲等特性，现已广泛应用在显示领域，是目前最具发展前景的显示技术。

OLED的核心部分是由多层的不同功能的有机层构成，这些有机层的厚度一般在到之间，每层的厚度必须精确控制；目前，物理气象沉积法是制作有机层的主流技术：即将有机材料在真空腔中加热，使得材料气化或者升华，沉积在温度比较低的基板上，形成多层膜的OLED器件。

比较常见的做法是：基板在真空腔的上部并且镀膜面朝下，盛有有机材料的坩埚在腔体下部，有机材料在坩埚内部经过加热升华或者气化，沉积在基板上；由于基板的厚度一般在1mm以内且镀膜面朝下，只能在基板的边界处非镀膜区域做支撑，基板中间镀膜区域无法做支撑，因此基板在重力的作用下很容易产生bending(弯曲)；为了减小基板的bending，必须控制基板的尺寸并保持比较厚的厚度，限制了生产效率的提高和成本的节约。

发明内容

为此，需要提供一种蒸镀机构，解决现有的蒸镀机构需要较厚基板的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种蒸镀机构，包括坩埚和防尘装置，坩埚置于所述防尘装置上方，坩埚内部用于填充蒸镀材料，坩埚外壁包覆设置有加热装置，坩埚中部设置有多孔分散板，坩埚上部侧壁设置有供蒸镀材料蒸汽喷出的喷嘴，喷嘴与坩埚内部连通，所述喷嘴倾斜向下指向在防尘装置下方一侧的基板放置平台，基板放置平台的底面为平面，基板放置平台用于由上往下依次放置掩膜板和待蒸镀的基板。

进一步地，防尘装置包括底板和防尘板，防尘板设置在底板上，防尘板在喷嘴侧设置有翘起部，所述喷嘴在坩埚侧边缘、翘起部边缘、底板在喷嘴侧的边缘在竖直方向上为由中心往外依次设置，所述底板在喷嘴侧的边缘处在喷嘴在坩埚侧边缘与翘起部边缘连线的下方。

进一步地，底板在喷嘴侧的边缘与翘起部边缘在竖直方向上两者间距一厘米以上。

进一步地，喷嘴在坩埚侧边缘与翘起部边缘在竖直方向上两者间距一厘米以上。

进一步地，所述喷嘴为多个，多个喷嘴置于同一水平面上。

进一步地，还包括水平往复运动机构，水平往复运动机构用于带动坩埚和防尘装置在基板放置平台上方往复运动，或者：水平往复运动机构用于带动基板放置平台在坩埚和防尘装置下方往复运动。

进一步地，所述坩埚为线性蒸镀源坩埚。

进一步地，多孔分散板由耐高温的金属材料或合金制成。

进一步地，防尘装置由耐高温的金属材料或合金。

区别于现有技术，上述技术方案采用基板在下，蒸镀机构在上的蒸镀方式，通过基板放置平台对基板整体支撑避免基板产生弯曲，从而避免弯曲对基板厚度和尺寸的限制；同时通过防尘装置可以有效防止颗粒掉落，从而防止掩膜板出现塞孔。

附图说明

图1为改进前的一般蒸镀方式的结构示意图；