[发明专利]一种蒸镀机构

权利要求书

1.一种蒸镀机构，其特征在于：包括坩埚和防尘装置，坩埚置于所述防尘装置上方，坩埚内部用于填充蒸镀材料，坩埚外壁包覆设置有加热装置，坩埚中部设置有多孔分散板，坩埚上部侧壁设置有供蒸镀材料蒸汽喷出的喷嘴，喷嘴与坩埚内部连通，所述喷嘴倾斜向下指向在防尘装置下方一侧的基板放置平台，基板放置平台的底面为平面，基板放置平台用于由上往下依次放置掩膜板和待蒸镀的基板。

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：防尘装置包括底板和防尘板，防尘板设置在底板上，防尘板在喷嘴侧设置有翘起部，所述喷嘴在坩埚侧边缘、翘起部边缘、底板在喷嘴侧的边缘在竖直方向上为由中心往外依次设置，所述底板在喷嘴侧的边缘处在喷嘴在坩埚侧边缘与翘起部边缘连线的下方。

3.根据权利要求2所述的一种蒸镀机构，其特征在于：底板在喷嘴侧的边缘与翘起部边缘在竖直方向上两者间距一厘米以上。

4.根据权利要求2所述的一种蒸镀机构，其特征在于：喷嘴在坩埚侧边缘与翘起部边缘在竖直方向上两者间距一厘米以上。

5.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：所述喷嘴为多个，多个喷嘴置于同一水平面上。

6.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：还包括水平往复运动机构，水平往复运动机构用于带动坩埚和防尘装置在基板放置平台上方往复运动，或者：水平往复运动机构用于带动基板放置平台在坩埚和防尘装置下方往复运动。

7.根据权利要求1到6任意一项所述的一种蒸镀机构，其特征在于：所述坩埚为线性蒸镀源坩埚。

8.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：多孔分散板由耐高温的金属材料或合金制成。

9.根据权利要求1所述的一种蒸镀机构，其特征在于：防尘装置由耐高温的金属材料或合金。