[发明专利]一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂，其特征在于，利用咪唑啉乙二胺分子结构中的氨基、聚乙二醇单甲醚的羟基，分别与三聚氯氰的氯发生取代反应，将聚乙二醇链段、咪唑啉以化学键通过三聚氯氰桥连成水溶性双咪唑啉分子，其具有以下结构：

其中：n为整数；n≥8。

2.一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：在圆底烧瓶中加入聚乙二醇单甲醚升温至12~20℃使聚乙二醇单甲醚熔融，滴加三聚氯氰的丙酮溶液，滴加完毕后再加入固体缚酸剂颗粒，在温度为12~20℃下继续反应1~2小时，得到聚醚三聚氯氰溶液；

步骤2：在圆底烧瓶中加入聚醚三聚氯氰升温至35~45℃，加入固体缚酸剂颗粒，再滴加乙二胺，保温反应1~1.5小时，得到双子聚醚三聚氯氰；

步骤3：在装有分水器和冷凝管的圆底烧瓶中加入有机酸、二乙烯三胺及携水剂二甲苯，逐步升温至150℃，反应2小时，继续升温至200℃反应10小时，反应结束后，降温至150℃减压蒸馏除去多余的携水剂二甲苯和未反应的二乙烯三胺，得到咪唑啉中间体；

步骤4：将咪唑啉中间体和聚醚三聚氯氰充分混合，加入固体缚酸剂颗粒，升温至75~95℃下反应1~2小时，即得到一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂。

3.根据权利要求2所述的一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤1中三聚氯氰与聚乙二醇单甲醚的投料摩尔比为1:1.0~1.1。

4.根据权利要求2所述的一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤2中乙二胺与聚醚三聚氯氰的投料摩尔比为1: 2.0~2.1。

5.根据权利要求2所述的一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤4中双子聚醚三聚氯氰与咪唑啉中间体的投料摩尔比为1: 2.0~2.1。

6.根据权利要求2所述的一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤3中的有机酸为油酸、苯甲酸、环烷酸中的一种。

7.根据权利要求2所述的一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤1、步骤2、步骤4中所用固体缚酸剂颗粒为氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钠、碳酸钾中的一种。

8.根据权利要求2所述的一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述步骤1、步骤2、步骤4中固体缚酸剂颗粒的用量以步骤1中的三聚氯氰摩尔数为基准，固体缚酸剂颗粒的用量是三聚氯氰摩尔数的1.2~2.5倍。