[发明专利]双滑台同步缓冲机构和密封门装置

说明书

本发明提供一种双滑台同步缓冲机构和密封门装置，包括：两个滑块和自适应调节结构；两个所述滑台分设于一操作对象相对的两侧，用于驱动所述操作对象往复运动；所述自适应调节结构设于一所述滑台上，并与所述滑台固定连接，所述自适应调节结构具有沿所述往复运动的方向的形变自由度，在滑台驱动所述操作对象做往复运动的过程中，当两个所述滑台因速度不同而导致不同步时，所述自适应调节结构通过往复运动方向上的形变来产生作用力作用于另一所述滑台上，以减小两个所述滑台的速度差，直至两个所述滑台同步，故而可以避免发生因不同步而导致滑台受损的情况。

技术领域

本发明涉及光刻设备技术领域，特别涉及一种双滑台同步缓冲机构和密封门装置。

背景技术

目前产线机械手进入曝光机等设备，需要在整机设备开个窗口，但为了使整机内部环境稳定，密封好，受外界干扰少，故要求设计一个双滑台同步缓冲机构。当机械手进入整机时，密封门下降；机械手出整机时，密封门上升。

当基板尺寸较大时，机械手进出窗口尺寸也会较大，以6代基板为例，机械手进出窗口尺寸2300mm(长)*750mm(高)，密封门设计尺寸为2350mm*800mm。由于密封门较大且要求密封门向上向下运动时间需控制在2s以内，设计方案是在密封门左右各放置1个滑台，增大推力，两个滑台同时运行。

但以上设计方案存在以下问题：

(1)两个滑台运动响应时间不同步，存在一侧滑台先运动，另一侧滑台还未开始运动可能，由于两侧滑台跨距大，先运动一侧的滑台将对后运动一侧滑台产生较大弯矩，有损坏滑台的可能；

(2)两个滑台在运动到机械限位停止的过程中，两侧滑台停止运动的时间不同步，存在一侧滑台先停止，另一侧滑台还未停止的可能，由于两侧滑台跨距大，后停止一侧的滑台将对先停止一侧滑台产生较大弯矩，有损坏滑台的可能；

(3)两个滑台在运动过程中，由于负载较大，且行程较长，对于气缸滑台而言，如果两侧气缸压缩空气压力及压缩空气流速有差异，两侧气缸在运动过程就会不同步，会造成第一导轨与滑块之间的磨损，影响滑台使用寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种双滑台同步缓冲机构和密封门装置，以解决在利用双滑台做往复运动时，双滑台不同步会导致滑台损坏的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种双滑台同步缓冲机构，包括：

两个滑台，两个所述滑台分设于一操作对象的相对的两侧，用于驱动所述操作对象往复运动；以及，

自适应调节结构，所述自适应调节结构设于一所述滑台上，并与所述滑台固定连接，所述自适应调节结构具有沿所述往复运动的方向的形变自由度，用于通过改变所述往复运动方向上的形变量来减小两个所述滑台的速度差，直至两个所述滑台同步。

可选的，在所述的双滑台同步缓冲机构中，每个所述滑台包括：

第一导轨，所述第一导轨沿所述往复运动的方向布置；以及

滑块，所述滑块设于所述第一导轨上，用于沿所述第一导轨运动以带动所述操作对象往复运动。

可选的，在所述的双滑台同步缓冲机构中，每个所述滑台还包括：

两个第一液压缓冲器，分别固定在所述第一导轨的两端。

可选的，在所述的双滑台同步缓冲机构中，每个所述滑台包括两组所述第一导轨，两组所述第一导轨平行布置。

可选的，在所述的双滑台同步缓冲机构中，所述自适应调节结构包括：

底座，所述底座固定在所述滑块上；

第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板沿所述往复运动的方向固定在所述底座的两端；