[发明专利]双滑台同步缓冲机构和密封门装置有效
| 申请号: | 201911185482.1 | 申请日: | 2019-11-27 |
| 公开(公告)号: | CN112859527B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
| 发明(设计)人: | 刘凯;王刚 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 双滑台 同步 缓冲 机构 密封 装置 | ||
1.一种双滑台同步缓冲机构,其特征在于,包括:
两个滑台,两个所述滑台分设于一操作对象的相对的两侧,用于驱动所述操作对象往复运动;以及,
自适应调节结构,所述自适应调节结构设于一所述滑台上,并与所述滑台固定连接,所述自适应调节结构具有沿所述往复运动的方向的形变自由度,用于通过改变所述往复运动方向上的形变量来减小两个所述滑台的速度差,直至两个所述滑台同步;
所述自适应调节结构包括:
底座,所述底座固定在所述滑台上;
第一挡板和第二挡板,所述第一挡板和所述第二挡板沿所述往复运动的方向固定在所述底座的两端;
转接件,所述转接件沿所述往复运动的方向能够移动地设置于所述底座上;以及,
对称分布的第一缓冲件和第二缓冲件,所述第一缓冲件设于所述转接件和所述第一挡板之间,所述第二缓冲件设于所述转接件和所述第二挡板之间,所述第一缓冲件和所述第二缓冲件随所述转接件的运动而产生形变,以改变形变量。
2.如权利要求1所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,每个所述滑台包括:
第一导轨,所述第一导轨沿所述往复运动的方向布置;以及
滑块,所述滑块设于所述第一导轨上,用于沿所述第一导轨运动以带动所述操作对象往复运动。
3.如权利要求2所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,每个所述滑台还包括:
两个第一液压缓冲器,分别固定在所述第一导轨的两端。
4.如权利要求2所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,每个所述滑台包括两组所述第一导轨,两组所述第一导轨平行布置。
5.如权利要求1所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,所述第一缓冲件和所述第二缓冲件为弹性结构或为可伸缩结构。
6.如权利要求5所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,所述自适应调节结构还包括第一限位件和第二限位件,所述第一限位件用于限定所述第一缓冲件的径向位移,所述第二限位件用于限定所述第二缓冲件的径向位移。
7.如权利要求6所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,所述第一挡板具有第一通孔,所述第一限位件的一端能够活动地穿过所述第一通孔和所述第一缓冲件,并与所述转接件连接,所述第一限位件的另一端包括第一扩大部,所述第一扩大部的外轮廓尺寸大于所述第一通孔的内尺寸;第二挡板具有第二通孔,所述第二限位件的一端能够活动地穿过所述第二通孔和所述第二缓冲件,并与所述转接件连接,所述第二限位件的另一端包括第二扩大部,所述第二扩大部的外轮廓尺寸大于所述第二通孔的内尺寸。
8.如权利要求7所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,所述第一缓冲件和所述第二缓冲件为弹簧,所述第一缓冲件和所述第二缓冲件的内径均为d1,所述第一限位件和所述第二限位件的外尺寸均为d2,其中,d1<1.5d2。
9.如权利要求7所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,所述转接件未受到沿所述往复运动的方向的作用力而处于初始状态时,所述第一限位件的扩大部与所述第一挡板之间的距离和所述第二限位件的扩大部与所述第二挡板之间的距离相同,且小于所述第一缓冲件和所述第二缓冲件的最大压缩量。
10.如权利要求1所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,所述第一缓冲件和所述第二缓冲件为第二液压缓冲器。
11.如权利要求6所述的双滑台同步缓冲机构,其特征在于,所述自适应调节结构包括多个所述第一缓冲件和多个所述第二缓冲件,多个所述第一缓冲件和多个所述第二缓冲件分别沿所述往复运动的方向的垂直方向依次均匀排布,所述第一限位件及所述第二限位件的数量与所述第一缓冲件或第二缓冲件的数量相等。
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