[发明专利]张网装置及张网方法

说明书

本发明提供了一种张网装置及张网方法，包括两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于支撑框架相对的第一侧和第二侧，第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够沿水平方向移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。本发明通过两对定位夹持结构实现支撑框架的定位夹持，至少一对形变夹持结构实现形变，结构简单紧凑，同时兼容压紧和精对准的功能，在保证精度的同时可以节约成本。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种张网装置及张网方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示面板以其全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、响应速度快等诸多优点，逐渐成为目前显示领域极具前景的显示产品。在OLED显示面板的生产中，用于将有机发光材料蒸镀到显示基板上的精细金属掩模板(Fine Metal Mask，FMM)是OLED显示面板生产过程中的重要器件。

通常情况下，一套FMM包括：支撑框架、支撑掩膜条和多条FMM条，FMM一般采用张网技术制作，张网过程就是将支撑掩膜条和FMM条焊接到支撑框架上的过程，由于每焊接一条FMM条时，该FMM条会对支撑框架产生一定的拉伸力(英文：Stretch Force，简称：SF)，该拉伸力会造成支撑框架发生形变从而导致最终形成的整个FMM的变形。为了平衡这一拉伸力，通常在焊接过程中会对支撑框架施加一定的对抗力(Counter Force，CF)。目前，采用张网装置来对焊接过程中的支撑框架施加CF，现有的张网装置包括多个夹持结构，多个夹持结构用于夹持支撑框架，并在夹持的位置为支撑框架施加CF以使支撑框架产生变形。然后对FMM条水平向施加拉力将FMM条拉紧之后焊接到已经产生变形的支撑框架上，松开夹持结构之后水平向拉力消失，此时支撑框架恢复形变恢复来弥补水平向的拉力，这样FMM条在夹持结构的拉力去掉后，就可以以一定的张力张紧在支撑框架上。

在焊接之前支撑框架需要完成水平向三自由度精对准，以使FMM条焊放置位置准确，常用的方案是采用三自由度运动台实现精对准，但是三自由度运动台需要增加较多水平向运动轴，结构复杂且成本高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种张网装置及张网方法，通过夹持结构同时实现夹持和精对准的功能，结构简单成本低。

为了达到上述目的，本发明提供了一种张网装置，用于对一支撑框架进行张网，包括：

两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于所述支撑框架相对的第一侧和第二侧，在第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；

所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够在平行于支撑框架表面的平面内移动，，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。

可选的，所述第一侧的定位夹持结构上设置有的位置测量单元为绝对位置测量单元，所述形变夹持结构及所述第二侧的定位夹持结构上设置的位置测量单元为有相对位置测量单元。

可选的，所述绝对位置测量单元包括绝对光栅尺或干涉仪，所述相对位置测量单元包括相对编码器。

可选的，所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上设置的位置测量单元均为绝对位置测量单元。

可选的，所述定位夹持结构及形变夹持结构包括驱动组件及夹持组件，所述驱动组件用于驱动所述夹持组件沿靠近或远离所述支撑框架的方向移动，以夹持或释放所述支撑框架。

可选的，所述驱动组件包括驱动单元及丝杆单元，所述丝杆单元用于连接所述驱动单元及所述夹持组件，以将所述驱动单元的旋转运动转换为所述夹持组件的直线运动。

可选的，所述驱动组件还包括缓冲单元，所述驱动单元及所述丝杆单元通过所述缓冲单元连接。