[发明专利]张网装置及张网方法

权利要求书

1.一种张网装置，用于对一支撑框架进行张网，其特征在于，包括：

两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于所述支撑框架相对的第一侧和第二侧，在第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；

所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够在平行于支撑框架表面的平面内移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元；

在粗定位时，同侧的所述定位夹持结构均同步运动，异侧的所述定位夹持结构非同步运动。

2.如权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述第一侧的定位夹持结构上设置的位置测量单元为绝对位置测量单元，所述形变夹持结构及所述第二侧的定位夹持结构上设置的位置测量单元为相对位置测量单元。

3.如权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述绝对位置测量单元包括绝对光栅尺或干涉仪，所述相对位置测量单元包括相对编码器。

4.如权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上设置的位置测量单元均为绝对位置测量单元。

5.如权利要求1-4中任一项所述的张网装置，其特征在于，所述定位夹持结构及形变夹持结构包括驱动组件及夹持组件，所述驱动组件用于驱动所述夹持组件沿靠近或远离所述支撑框架的方向移动，以夹持或释放所述支撑框架。

6.如权利要求5所述的张网装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动单元及丝杆单元，所述丝杆单元用于连接所述驱动单元及所述夹持组件，以将所述驱动单元的旋转运动转换为所述夹持组件的直线运动。

7.如权利要求6所述的张网装置，其特征在于，所述驱动组件还包括缓冲单元，所述驱动单元及所述丝杆单元通过所述缓冲单元连接。

8.如权利要求7所述的张网装置，其特征在于，所述缓冲单元包括弹簧。

9.如权利要求6所述的张网装置，其特征在于，所述丝杆单元及所述夹持组件之间设置有力传感器。

10.如权利要求5所述的张网装置，其特征在于，所述夹持组件设置于一直线导轨上，并能够沿所述直线导轨移动。

11.如权利要求1-4中任一项所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括预夹持结构，所述预夹持结构包括至少两对预夹持气缸，每对预夹持气缸对称分布于所述支撑框架相对的两侧，所述预夹持结构通过夹持所述支撑框架并实现所述支撑框架的粗对准。

12.如权利要求1-4中任一项所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括底座及设置于所述底座上的供气结构，所述夹持结构均设置于所述底座上，所述支撑框架设置于所述供气结构上，所述供气结构用于形成一气膜，以使所述支撑框架悬浮于所述供气结构上方。

13.一种如权利要求1-12中任一项所述的张网装置的张网方法，其特征在于，包括：

将第一侧的定位夹持结构移动至零位，将所述形变夹持结构及第二侧的定位夹持结构移动至远离支撑框架；

将第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构夹持所述支撑框架；

将形变夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至压迫所述支撑框架并使所述支撑框架沿设定方向形变；

将两对定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构再次夹持所述支撑框架。

14.如权利要求13所述张网方法，其特征在于，将第一侧的定位夹持结构移动至零位之前，所述张网方法还包括：

将设置有相对位置测量单元的夹持结构进行搜零。