[发明专利]托盘翻转台

说明书

本发明提供一种托盘翻转台，用于翻转可承载晶片的托盘，包括按压装置和底板，按压装置上设置有多个可容纳螺丝的通孔；按压装置还包括吸附件，将吸附件套设其内；吸附件用于吸附通过通孔的螺丝，以防止螺丝从按压装置上脱落。本发明提供的托盘翻转台，能够提高装卸效率，降低装卸失误率，从而提高产能和产品良率。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体地，涉及一种托盘翻转台。

背景技术

近年来，图形化蓝宝石衬底(Patterned Sapphire Substrate，PSS)作为氮化镓(GaN)基发光二极管(Light Emitting Diode，LED)外延衬底材料被广泛应用，且由于发光二极管照明技术的种种优势，市场容量在逐年扩大，以致各大图形化蓝宝石衬底厂商都将如何增加产能，以及如何最大限度提高生产效率作为重点关注对象。

目前，通常是采用感应耦合等离子体刻蚀(Inductively Coupled Plasma，ICP)技术对涂覆有光刻胶阵列图案的蓝宝石衬底进行刻蚀，衬底(Wafer)在刻蚀之前，需要工作人员将其装载至托盘与盖板之间，以通过托盘与盖板夹紧衬底，衬底在刻蚀之后，需要工作人员将其从托盘与盖板之间拆卸，而为了提高衬底的产能以及生产效率，工作人员的装卸效率就显得尤为关键。

目前，普遍采用专用工装台来进行衬底的装卸工作，但由于工装台存在设计上的缺陷，其会制约工作人员的装卸效率，导致衬底的装卸效率低下，产能较低，并且还会导致装卸失误，造成衬底的损坏。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种托盘翻转台，能够提高装卸效率，降低装卸失误率，从而提高产能和产品良率。

为实现本发明的目的而提供一种托盘翻转台，用于翻转可承载晶片的托盘，包括按压装置和底板，所述按压装置上设置有多个可容纳螺丝的通孔；所述按压装置还包括吸附件，将所述吸附件套设在所述通孔内；所述吸附件用于吸附通过所述通孔的螺丝，以防止所述螺丝从所述按压装置上脱落。

优选的，所述吸附件设置于所述通孔的一端部；

所述通孔为圆孔；

所述吸附件为环形磁体，且所述环形磁体与所述圆孔同轴。

优选的，所述环形磁体的外径与所述通孔的内径相等。

优选的，所述环形磁体轴向上的厚度与所述通孔轴向上的长度的比值范围为1:3～1:1。

优选的，所述环形磁体的内径不大于所述螺丝的头部直径。

优选的，所述吸附件设置于所述通孔中远离所述底板的一端部。

优选的，所述环形磁体的内径比所述螺丝的头部直径小0.5mm～1mm。

优选的，所述环形磁体的外径比所述环形磁体的内径大1mm～2mm。

优选的，还包括翻转把手和连接件；

所述翻转把手设置在所述按压装置上，用于将所述托盘在所述翻转台上翻转；

所述连接件用于连接所述按压装置和底板。

优选的，所述底板上设置有滑轨，所述托盘上设置有固定件；

所述固定件设置在所述托盘朝向所述底板的一侧面上，用于将所述托盘与所述按压装置连接；

所述滑轨设置在所述底板上表面，用于与所述按压装置相配合，以使所述按压装置沿所述滑轨在所述翻转台上翻转。

本发明具有以下有益效果：