[发明专利]托盘翻转台有效
申请号: | 201911182123.0 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN110911313B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 盖克彬 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 托盘 转台 | ||
1.一种托盘翻转台,用于翻转可承载晶片的托盘,其特征在于,所述托盘翻转台包括按压装置、底板和吸附件,所述底板上设置有用于承载所述托盘的承载凸台;所述承载凸台上设置有多个可容纳螺丝的通孔;
所述吸附件套设在所述通孔内;所述吸附件用于吸附通过所述通孔的螺丝,以防止所述螺丝从所述承载凸台上脱落;
所述托盘翻转台还包括翻转把手和连接件,所述按压装置通过所述连接件与所述底板活动连接,所述翻转把手设置在所述按压装置上远离所述连接件的一侧;以允许所述按压装置相对于所述底板绕所述连接件沿竖直方向转动或者以所述连接件与所述翻转把手之间的连线为轴线转动。
2.根据权利要求1所述的托盘翻转台,其特征在于,所述吸附件设置于所述通孔的一端部;
所述通孔为圆孔;
所述吸附件为环形磁体,且所述环形磁体与所述圆孔同轴。
3.根据权利要求2所述的托盘翻转台,其特征在于,所述环形磁体的外径与所述通孔的内径相等。
4.根据权利要求2或3所述的托盘翻转台,其特征在于,所述环形磁体轴向上的厚度与所述通孔轴向上的长度的比值范围为1:3~1:1。
5.根据权利要求2所述的托盘翻转台,其特征在于,所述环形磁体的内径不大于所述螺丝的头部直径。
6.根据权利要求2所述的托盘翻转台,其特征在于,所述吸附件设置于所述通孔中远离所述底板的一端部。
7.根据权利要求5所述的托盘翻转台,其特征在于,所述环形磁体的内径比所述螺丝的头部直径小0.5mm~1mm。
8.根据权利要求5或7所述的托盘翻转台,其特征在于,所述环形磁体的外径比所述环形磁体的内径大1mm~2mm。
9.根据权利要求1所述的托盘翻转台,其特征在于,所述底板上设置有滑轨,所述托盘上设置有固定件;
所述固定件设置在所述托盘朝向所述底板的一侧面上,用于将所述托盘与所述按压装置连接;
所述滑轨设置在所述底板上表面,用于与所述按压装置相配合,以使所述按压装置沿所述滑轨在所述翻转台上翻转。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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