[发明专利]荧光渗透检查系统和方法

权利要求书

1.一种检查系统，其特征在于，包括：

一个或多个处理器，所述一个或多个处理器被构造成在紫外线(UV)光设定中获得其上具有荧光染料的工件的第一图像，并且在可见光设定中获得所述工件的第二图像，所述工件在所述UV光设定中被紫外线光照射，以使得所述荧光染料发射光，并且所述工件在所述可见光设定中被可见光照射，以使得所述工件反射光，通过一个或多个成像装置在相对于所述工件的相同位置产生所述第一图像和所述第二图像；

其中所述一个或多个处理器被构造成基于候选区内的一个或多个像素的光特性来识别所述第一图像的所述候选区，并且确定与所述第一图像的所述候选区处于类似地点的所述第二图像的对应候选区，并且

其中所述一个或多个处理器被构造成分析所述第一图像的所述候选区和所述第二图像的所述对应候选区两者，以检测所述工件的表面上的潜在缺陷以及所述潜在缺陷相对于所述工件的所述表面的地点。

2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，其中所述一个或多个处理器被构造成通过人工神经网络中的人工神经元层检查作为前向传播方向上的输入的所述候选区，来分析所述第一图像和所述第二图像的所述候选区。

3.根据权利要求2所述的检查系统，其特征在于，其中所述人工神经网络是具有第一分支和第二分支的双分支神经网络，其中所述一个或多个处理器将所述第一图像的所述候选区输入到所述第一分支中，并且将所述第二图像的所述候选区输入到所述第二分支中。

4.根据权利要求2所述的检查系统，其特征在于，其中所述人工神经网络被构造成产生所述第一图像和所述第二图像的所述候选区描绘缺陷的输出概率，并且所述一个或多个处理器响应于来自所述人工神经网络的超出指定概率阈值的所述输出概率，检测所述工件的所述表面中的所述潜在缺陷。

5.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，其中所述光特性是强度，并且所述一个或多个处理器被构造成通过识别所述第一图像中的具有大于强度阈值的相应强度的像素簇，来识别所述第一图像的所述候选区。

6.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，其中所述一个或多个处理器被构造成通过在所述第一图像中的像素簇周围应用边界框来识别所述第一图像的所述候选区。

7.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，其中响应于沿着所述第一图像和所述第二图像的所述候选区中描绘的所述工件的区域检测所述工件的所述表面中的所述潜在缺陷，所述一个或多个处理器被进一步构造成控制机械臂沿着所述区域擦拭所述工件的所述表面。

8.根据权利要求7所述的检查系统，其特征在于，其中所述第一图像和所述第二图像是第一擦拭前图像和第二擦拭前图像，并且所述一个或多个处理器被进一步构造成在所述机械臂擦拭所述工件的所述表面之后，获得所述工件的第一擦拭后图像和第二擦拭后图像，通过所述一个或多个成像装置在相对于所述工件的与所述第一擦拭前图像和所述第二擦拭前图像相同的位置产生所述第一擦拭后图像和所述第二擦拭后图像，其中所述第一擦拭后图像在所述UV光设定中被获取，并且所述第二擦拭后图像在所述可见光设定中被获取。

9.根据权利要求8所述的检查系统，其特征在于，其中所述一个或多个处理器进一步被构造成将所述第一擦拭前图像和所述第二擦拭前图像的所述候选区与所述第一擦拭后图像和所述第二擦拭后图像的类似候选区进行比较，以将所述潜在缺陷分类为已确认缺陷或误报。

10.根据权利要求9所述的检查系统，其特征在于，其中所述一个或多个处理器被构造成通过人工神经网络中的人工神经元层检查作为前向传播方向上的输入的所述第一擦拭前图像和所述第二擦拭前图像的所述候选区以及所述第一擦拭后图像和所述第二擦拭后图像的类似候选区，以将所述潜在缺陷分类为所述已确认缺陷或所述误报。